[发明专利]表面微结构检测系统及其检测方法

权利要求书

1．一种表面微结构检测系统，包括控制移相操作和数据采集及处理的计算机(5)，计算机(5)发出的数字信号经数模转换卡(6)转换为模拟信号，经过高压放大器(7)放大后，通过平移器位置平衡装置(8)控制加在压电陶瓷传感器(PZT)(12)上的电压，从而驱动PZT(12)纵向伸缩，并带动干涉头(11)中置于PZT(12)上的待测样品(4)作纵向平移，干涉头(11)之上有照明光源(14)，干涉头(11)形成的干涉图经显微物镜(10)和光学元件(15)成像于电荷耦合器(9)上，电荷耦合器(9)将信号送至计算机(5)和监视器(13)中，其特征在于干涉头(11)包含由一中心位置上置有反射片(16)的支撑板(17)所构成的参考板(2)，在参考板(2)与待测样品(4)之间的分光板(3)朝向待测样品(4)的一面上设置有一补偿板(18)。

2．根据权利要求1的检测系统，其特征在于置于支撑板(17)中心位置上的反射片(16)是超薄超光滑的单面抛光，另一面不抛光或者镀有无光漆的硅片。

3．一种表面微结构的检测方法，采用移相操作方法，其特征在于使用的是多序列移相操作和反馈式移相控制技术，具体操作步骤是：

(1)单序列移相操作：计算机按原设定值向压电陶瓷传感器(PZT)依次发出各步的驱动信号，对电荷耦合器(CCD)依次发出同步采集信号，从而获得一序列的强度采集图像，根据强度图像确定移相量和移相误差，并计算各步驱动信号的较正值，存储满意图象；

(2)多序列移相操作：将上序列的移相误差值反馈，对原设定的PZT驱动信号进行校正，并将PZT严格复位后，重复上述(1)步的单序列移相操作；

(3)反复重复第(2)步骤和第(1)步骤，直到对应于移相的每一步都有一次或一次以上的满意值；

(4)进行后续数据处理：依次进行位相计算、消位相跳变操作，高差计算，最小二乘拟合、表面微结构参数的计算，结果显示。