[发明专利]从离子注入器的内部区域中俘获和清除不纯粒子的方法和装置

权利要求书

1.俘获和清除在抽真空的离子注入器(10)的内部区域运动的不纯粒子的方法，其中，带电离子经过抽真空的内部区域中的离子行进路径14，以便处理工件，其特征在于该方法包括以下步骤：

a)提供一种具有粒子粘附表面的粒子收集器(74)，不纯粒子粘附到该粘附表面上，

b)把粒子收集器这样固定到注入器，使得收集器(74)的粒子粘附表面被置于抽真空的内部区域中离子行进路径(14)附近的位置上，

c)按周期性的时间间隔把粒子收集器从离子束注入器(10)中取出，以便从注入器的抽真空的内部区域清除粘附在收集器上的粒子。

2.如权利要求1中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：粒子收集器安装到以内部区域为界的注入器的表面(S1-S6)。

3.如权利要求1中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：收集器的粒子粘附表面以额外的方式吸附不纯粒子。

4.如权利要求3中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：粒子粘附和吸附表面包括永久极化的电介质纤维，该电介质纤维用静电吸引的方法将不纯粒子吸引和固定在粒子收集器上。

5.如权利要求1所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：所述固定步骤包括以下步骤：用部分硫化的合成橡胶涂复吸附表面(S5，S6)，该合成橡胶把粒子收集器固定到离子注入器的内壁。

6.如权利要求5中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：涂覆部分硫化的合成橡胶的步骤包括部分地固化硅合成橡胶的步骤。

7.如权利要求1中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：所述粒子收集器的粒子粘附表面被配置在注入器(10)的容纳一个或多个工件的作业室(17)内。

8.如权利要求7中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：把粒子收集器固定到面对工件处理面的作业室(17)的内表面。

9.如权利要求1所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：所述粒子收集器的粒子粘附表面处在所述注入器的分析室(112)视界的净区域内。

10.如权利要求9中所述的俘获和清除不纯粒子的方法，其特征在于：所述粒子收集器被固定在分析室(112)的内表面(S5，S6)上。

11.在离子注入器(10)与用来俘获和清除在离子向工件运动过程中经过的该注入器的抽真空的内部区域中运动的不纯粒子的装置的组合中，其特征在于这种组合包括：

a)收集器(74)，它具有粒子收集表面，穿过注入器的抽真空的离子内部区域运动的不纯粒子容易粘附到该收集器表面，

b)用来把收集器(74)可卸拆地安装在离子注入器(10)的抽真空的内部区域内的支撑架(76，78，S1～S6)，用来把收集器的粒子收集表面放在适当的位置，以便截获通过抽真空的注入器内部区域运动的不纯粒子。

12.如权利要求11中所述的离子注入器装置，其特征在于还包含工件支持室(17)，以及收集器的暴露的粒子收集表面通常是平面，并且收集器安装工件支持室(17)的内表面S1-S4。

13.如权利要求11中所述的离子注入器装置，其特征在于：

还包含限定注入器的抽真空的内部区域的一部分的小室，以及

注入器包括发射离子的源(12)和用来产生对一个或几个工件进行束处理的离子束生成结构(24，22，40)，

收集器(74)具有环形形状，并且所述支架包括用来把收集器圆筒形的内表面支撑在这样的位置、使得离子束在向工件运动的路径中穿过收集器的装置。

14.如权利要求13中所述的离子注入器，其特征在于还包含离子注入室，该注入室包括工件支持架，后者用来移动一个或多个工件通过离子束，以及把一个或多个附加的收集器安装在离子注入室的内表面上。

15.如权利要求11中所述的与粒子收集器相结合的离子注入器，其特征在于：粒子收集器的粒子粘附表面以额外的方式吸附不纯粒子。

16.如权利要求15中所述的离子注入器和收集器，其特征在于：粒子吸附和粘附表面还包括通过静电吸附把不纯粒子吸附和固定在粒子收集器表面的永久极化的电介质纤维。