[发明专利]制备三氯硅烷的方法无效
| 申请号： | 96120113.4 | 申请日： | 1996-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN1153138A | 公开（公告）日： | 1997-07-02 |
| 发明（设计）人： | 鲁道尔夫·格里斯哈默;弗兰茨·科普尔;弗兰茨·施赖德 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 甘玲 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 硅烷 方法 | ||
【权利要求书】：
1，通过在流化床反应器中还原四氯硅烷来制备三氯硅烷的方法，该方法包括：
a)在反应器中建立一个硅颗粒的流化床；
b)将微波辐射直接导入反应器中，加热硅颗粒使其温度达到300-110℃；
c)使含有四氯硅烷和氢的反应气通过流化床，使反应气与硅颗粒反应，形成含有三氯硅烷的产物气，和
d)由反应器中取出产物气。
2，如权利要求1的方法，其中，与反应相关的硅消耗是通过连续地向反应器中送入硅颗粒来补偿的。
3，如权利要求1或2的方法，其中，将产物气分离成三氯硅烷和残余气体，而所示残余气体再循环至反应器作为反应气。
4，如权利要求1-3之任意一项的方法，其中，将产物气分离成三氯硅烷和残余气体，而在沉积反应器(CVD反应器)中热解三氯硅烷，形成元素硅。
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