[发明专利]真空中底基涂层的装置无效
| 申请号： | 96122829.6 | 申请日： | 1996-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1074582C | 公开（公告）日： | 2001-11-07 |
| 发明（设计）人： | Ｊ·施齐包斯基;Ｇ·蒂施纳 | 申请（专利权）人： | 鲍尔泽斯和利博尔德德国控股公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 姜郛厚,萧掬昌 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空中 涂层 装置 | ||
1．一种真空中底基(14)涂层用的装置，包括一个交流电源(2)，该交流电源(2)与两个设在一真空涂层室(15)中的阴极(6、7)相连接；所述阴极与极靶相互电作用使极靶雾化，其雾化的粒子沉淀在底基(14)上，而在涂层室(15)中引入一种反应气体，所述阴极具有其电阻随该反应气体份额增加而减少的特性；在交流电源(2)与阴极对(6、7)之间设有一个网络(1)，该网络起滤波器作用，并由一个变压器(3)和除变压器外的其他线圈及电容器构成，且从阴极侧测量的阻抗为感性的；交流电源(2)的频率偏离滤波器的固有频率；以及构成交流气体放电的、作为阴极电阻(r)函数的阴极功率(p)的特性曲线具有一个最大值，选择该最大值，使得阴极电阻在工作点(A)时偏离最大值(M)时的阴极电阻和使得网络(1)的阻抗阻止所述装置从一种工作状态变到另一种工作状态。
2．根据权利要求1所述的真空中底基涂层用的装置，其特征在于：所述阴极功率P和阴极电阻r的关系通过表达式
3．根据权利要求1所述的真空中底基涂层用的装置，其特征在于：所述功率最大值(M)时的阴极电阻这样选择，即在工作点(A)时的阴极电阻约为最大值(M)时的该阴极电阻的两倍。
4．根据权利要求1至3之一所述的真空中底基涂层用的装置，其特征在于：在所有工作状态中阴极(6、7)的阴极电阻大于或小于功率最大值(M)时的阴极电阻。
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