[发明专利]加速度传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种加速度传感器，其特征在于：包括具有相对的2个主面的2个压电基板的上述主面之间直接接合而构成的压电元件、由在上述压电元件的相对的2个主面上形成的电极构成的机-电变换元件和支持上述机-电变换元件的支持体，上述2个压电基板的主面之间通过使上述2个压电基板的构成原子通过氧原子、羟基或氧原子和羟基相互结合而直接接合。

2.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：2个压电基板以极化轴的方向成为相互相反的方向进行接合。

3.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：2个压电基板通过缓冲层直接接合。

4.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：机-电变换元件的一端支持在支持体上。

5.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：机-电变换元件的两端支持在支持体上。

6.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板由晶体结构3m族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与Y轴的夹角为+129°-+152°的轴并且包含X轴，联接上述压电基板的重心和支持体的中心的连线垂直于X轴。

7.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板由晶体结构3m族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与Y轴的夹角为-26°～+26°的轴并且包含X轴，联结上述压电基板的重心和支持体的中心的连线垂直于X轴。

8.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板由晶体结构32族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于X轴，联结上述压电基板的重心和支持部中心的连线与Z轴的夹角为+52°-+86°的角度。

9.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板由晶体结构32族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与X轴的夹角为-26°～+26°的轴并且包含Y轴，联结上述压电基板的重心和支持体的中心的连线平行于Y轴。

10.按权利要求1所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板由晶体结构32族的单晶压电材料构成，以上述单晶压电材料的晶体轴为X轴、Y轴、Z轴时，上述压电基板的主面垂直于与X轴的夹角为+52°～+68°的轴并且包含Z轴，联结上述压电基板的重心和支持体的中心的连线垂直于Z轴。

11.根据权利要求1的加速度传感器，其特征在于：上述压电基板的构成原子与支持体的构成原子通过氧原子和/或羟基相互结合，由此使上述机-电变换元件与上述支持体直接接合。

12.按权利要求11所述的加速度传感器，其特征在于：构成机-电变换元件的压电基板和支持体通过缓冲层直接接合。

13.按权利要求11所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板和支持体由同一种材料构成。

14.按权利要求11所述的加速度传感器，其特征在于：机-电变换元件的一端支持在支持体上。

15.按权利要求11所述的加速度传感器，其特征在于：机-电变换元件的两端支持在支持体上。

16.根据权利要求1的加速度传感器，其特征在于：还包括收容上述机-电变换元件的容器，上述容器的构成原子与上述支持体的构成原子通过氧原子、羟基或氧原子和羟基相互结合而直接接合，由此使上述支持体与上述容器直接接合。

17.按权利要求16所述的加速度传感器，其特征在于：容器和支持体通过缓冲层直接接合。

18.根据权利要求1的加速度传感器，其特征在于：包括收容上述机-电变换元件的容器，上述压电基板的构成原子和上述容器的构成原子通过氧原子、羧基或氧原子和羟基相互结合，使构成上述压电元件的上述压电基板与上述容器直接接合，支持上述机-电变换元件。

19.按权利要求18所述的加速度传感器，其特征在于：压电基板和容器通过缓冲层直接接合。