[发明专利]氮化硅电路板无效
| 申请号： | 96190008.3 | 申请日： | 1996-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN1139117C | 公开（公告）日： | 2004-02-18 |
| 发明（设计）人： | 池田和男;小森田裕;佐藤孔俊;小松通泰;水野谷信幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | H01L23/14 | 分类号： | H01L23/14;H05K1/03 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 董巍;叶恺东 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 电路板 | ||
【说明书】：
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