[发明专利]输送气体脉冲的气体阀门和方法

权利要求书

1.一种气体阀门，包括阀体(5、7)，该阀体可以压靠在阀座(6)上使气体阀门关闭，上述阀体(5、7)包括其外边缘固定在阀壳(1、2)上的膜片(7)，膜片以这样的方式固定：使得在远离阀座(6)的一侧形成一个控制室，该控制室(9)经节流通道(10)连接于气体入口，膜片(7)的另一侧的至少部分与气体入口连通，并且提供一种装置，用于使气体从控制室(9)中流出，以便打开气体阀门，气体阀门打开是通过在上述另一侧的气体入口的气压使阀体(5、7)移离阀座(6)而实现的。上述阀体(5、7)包括阀部件(5)，该阀部件(5)相对于上述膜片(7)居中配置，基本上位于膜片(7)的上述另一侧，并且与阀座(6)密封地接合，上述阀部件(5)的尺寸是使得在阀部件(5)的接合阀座的部分和靠近膜片(7)的部分之间的距离大于气体入口内径的一半。

2.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，上述阀体(5、7)基本上位于上述阀座(6)的上游。

3.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，导引上述阀部件(5)的运动的导向装置(8)靠近上述阀座(6)配置。

4.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，上述膜片(7)基本上预成形为圆锥形，至少部分成形为圆锥形，并使得上述膜片(7)在阀门关闭的位置或基本关闭的位置具有基本上稳定的形状。

5.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，包括上述膜片(7)及上述阀部件(5)的阀体(5、7)用相同材料成一体地形成。

6.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，上述膜片(7)的边缘具有至少一个平行于上述边缘延伸的肋(21)。

7.如权利要求6所述的气体阀门，其特征在于，肋(21)在上述膜片(7)的两侧延伸，并且在横截面图中可见到，该肋朝外侧逐渐变细。

8.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，上述膜片(7)固定在靠近其外侧边缘的上述阀壳的两个部件(1、2)之间，该部件中至少一部分具有大体为环形的刃边(13、14)，该刃边在膜片(7)的表面上压出槽。

9.如上述权利要求中任一项所述的气体阀门，其特征在于，上述阀壳的两个部件(1、2)用卡箍连接装置(15、16、17)相互连接。

10.如权利要求9所述的气体阀门，其特征在于，上述阀壳的一个部件(1)包括多个向外的圆形槽口(16)的弧形部分，基本为环形的弹性卡箍(15)装在该槽口中，而阀壳的另一部件(2)包括相应数目的环形边缘(17)的弧形部分，该弧形部分(17)卡在槽口(16)的部分之间的卡箍(15)后面。

11.一种通过迅速打开气体通道传送气体脉冲的方法，其中，利用气源气压将连接于膜片(7)的阀部件(5)推离阀座(6)，这是通过使在膜片(7)的一侧的气压降低来实现的，随后气体便流过阀部件(5)和距上述膜片(7)一定距离的阀座(6)之间的间隙。

12.如权利要求11所述的方法，其特征在于可以应用如上述权利要求中任一项所述的一个或多个措施。