[发明专利]电极组件、其组装方法以及用电极组件处理晶片的方法无效
| 申请号： | 96194033.6 | 申请日： | 1996-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN1103113C | 公开（公告）日： | 2003-03-12 |
| 发明（设计）人： | 埃里克H·伦兹;迈克尔L·卡尔维斯;伊沃A·米勒;罗伯特A·弗雷泽 | 申请（专利权）人： | 兰姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 王以平 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电极 组件 组装 方法 以及 用电 处理 晶片 | ||
【说明书】：
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