[发明专利]磁头及磁头的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及磁盘装置及其制造技术，特别是涉及具有非直线轨道、上浮量小的薄膜磁头的制造方法及磁头滑触点的形状和结构。本发明还特别涉及一种加工方法，在对蚀刻速度慢的陶瓷等进行干法蚀刻加工时，可以除去由此产生的次生附着物，本发明所涉及的薄膜磁头及其制造方法对于既要得到稳定的低上浮量又要防止磁头碎裂是很合适的。

背景技术

磁盘装置的记录密度年年都在飞速上升，因此，必须降低磁头的上浮量。图10是说明磁头的上浮状态的图，磁头1具有面向磁盘11的上浮面2、圆锥部4、磁元件5、空气流入端7和空气流出端8，由弹簧片10支撑。在上浮面2上形成图2所示的轨道3。当停止磁盘旋转时磁头1与磁盘11呈接触状态，但是，当转数达到一定值时，因沿轨道3从空气流入端7流入且从空气流出端8流出的空气流40的作用，形成空气轴承滑触点机构并产生上浮力，由弹簧片10的按压力和上浮力来决定上浮量12。降低该上浮量12、同时降低因磁盘内圆和外圆的速度差而引起的上浮量的变化是重要的课题之一。

图11是表示先有的磁头滑触点及其加工方法的图，先有的磁头滑触点具有直线的轨道3，其加工是使用磨具27靠机加工进行的。图14是示出圆周速度和上浮量的关系的图，在直线形状轨道的情况下，相对盘的圆周速度的使用范围从15到35m/s，上浮量大约是从140到200nm，上浮量与圆周速度有很大的关系，在盘内外圆周大约有60nm的变动。此外，对于直线形状的轨道，轨道宽度和上浮量有一定的比例关系，为了降低上浮量，希望轨道宽度较小，但在图11所示的磁元件5的部分中，因要求轨道和磁元件5要有同等的宽度，自然对轨道宽度就有一定的限制。

因此，正如美国专利第4、673、996号所公开的那样，通过在轨道3的沿前期空气流的角部设置称之为倒角的倾斜面来实现上浮量的降低及抑制其变动。该倾斜面与上浮面所成的角是在0.5度到2度之间，倒角的面积占轨道面积的比例是从12.5到22.5％，作为倒角的一例，具有10μm左右的宽度和2μm的高度。

此外，如特开平63-103406号公报中所公开的那样，通过使轨道3的一部分变细也可以实现上浮量的降低和抑制其变动。如特开平4-188479号公报中所公开的那样，通过在轨道3的沿前期空气流的角部，设置从流入端向流出端其宽度逐渐扩大的倾斜面，也能实现上浮量的降低和抑制其变动。通过设置这样的倒角，上浮量便如图14所示那样是较低的值，在圆周速度从15到35m/s时大约是从80到120nm，同时，磁盘内外圆周的上浮量的变动也可以降低到约40nm。

近年来，作为降低上浮量的最有效的手段，如特开平4-276367号公报所公开的那样，盛行的是采用非直线形状的轨道的方法。图12示出具有非直线形状轨道的磁头的一个例子。在使用这样的非直线形状轨道时，如图14所示其上浮量较低，在圆周速度是从15到35m/s时约为60至75nm，磁盘内外圆周的上浮量的变动也非常小，约为15nm。非直线形状的轨道具有与在直线形状轨道上设有倒角的情况相同或更好的降低上浮量的效果，特别是，抑制因磁盘内外圆周的圆周速度的差而引起的上浮量变动的效果很好。因此，如果对具有与设有倒角的直线形状轨道相同或更好的降低上浮量的效果的非直线形状的轨道设置倒角，可以期待进一步提高上浮特性，为了使可实现的上浮量及其稳定性更好，有必要将其与设有倒角的直线形状轨道的情况及其效果严格地进行区别。目前，还没有公开设有倒角的非直线形状轨道的例子。非直线形状的轨道即使不设置倒角其降低上浮量和抑制上浮量变动的效果也很明显，设置一点点倒角就可以进一步提高上浮特性，所以，所设倒角的最佳形状要求比直线形状情况下小，而且要求高精度的加工。

倒角形状除了以上所述的提高上浮特性的效果之外，还具有特开昭60-9656号公报所公开的以下的效果。如图10所示，空气流出端8的上浮量比空气流入端7小，形成与磁盘容易接触的状态。因此，形成倒角并希望磁头1的空气流出端8的形状是既可以防止对磁盘11的损伤又可以防止对磁头本身的损伤的光滑的形状。为了对非直线形状的轨道也实现这样的效果，与达到上述上浮特性的效果的一样，要求很高的精度。