[发明专利]静电卡盘组件无效
| 申请号： | 96196450.2 | 申请日： | 1996-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN1125531C | 公开（公告）日： | 2003-10-22 |
| 发明（设计）人： | 罗恩·范奥斯;埃里克·D·罗斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H02N13/00 | 分类号： | H02N13/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马莹 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 静电 卡盘 组件 | ||
【权利要求书】：
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