[发明专利]用于粘合电子器件的可变形基片部件无效
申请号: | 96196568.1 | 申请日: | 1996-08-01 |
公开(公告)号: | CN1194059A | 公开(公告)日: | 1998-09-23 |
发明(设计)人: | 彼得·B·霍格通;肯尼斯·E·卡尔森 | 申请(专利权)人: | 美国3M公司 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/532 |
代理公司: | 上海专利商标事务所 | 代理人: | 沈昭坤 |
地址: | 美国明*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 粘合 电子器件 变形 部件 | ||
1.一种微电子电路部件,其特征在于包含:
(a)至少一个电子器件(10),其中所述至少一个电子器件(10)具有至少一个接合位置(16);
(b)基片部件(18),包含可延展聚合物基片(20),所述基片的Tg低于200℃,而且在所述基片的表面(20)上具有至少一条可延展的金属线条(22),其中所述至少一条可延展金属线条(22)厚度为大约1μm到大约10μm;及
(c)在所述器件(10)和所述基片部件(18)之间的粘合剂(30)。
2.如权利要求1所述的微电子电路部件,其特征在于所述聚合物材料的Tg从大约70℃到大约160℃。
3.如权利要求1所述的微电子电路部件,其特征在于所述聚合物材料从由聚(对苯二酸-乙二醇)、聚(1,4-萘二甲酸乙二醇酯)、聚(1,5-萘二甲酸乙二醇酯)、(聚(2,6-萘二甲酸乙二醇酯)聚(2,7-萘二甲酸乙二醇酯)及间规聚苯乙烯构成的组中选出。
4.如权利要求1所述的微电子电路部件,其特征在于所述粘合剂至少具有环氧树脂组、丙烯组、硅树脂组、丁二烯组、改性的丙烯酸组和氰酸盐酯中的一种。
5.如权利要求1所述的微电子电路元件,其特征在于所述粘合剂是从由环氧树脂,苯氧树脂和它们相容的混合物所构成的组中选出。
6.如权利要求1所述的微电子电路部件,其特征在于所述粘合剂还包含导电微粒。
7.一种制造粘合剂微电子部件的方法,其特征在于包含:
提供电子器件(10),它包括至少一个金属接合位置(16);
提供一个基片部件(18),该器件包含由聚合物制成的基片(20),其Tg低于200℃,在所述基片的一个表面上有电路线条(22)的图案,其中所述线条(22)是厚度至少大约1μm的可延展的金属;
在所述器件(10)和所述基片部件(18)之间设置可变硬的绝缘粘合剂(30),以形成叠层;
将所述金属结接合位置(16)和所述电路线条对准;
使粘合剂(30)变硬;及
对所述叠层施加接合力,以使所述接合位置(16)和所述电路线条(22)电气连接,从而所述线条(22)延伸至少大约1μm到基片(20)的表面内。
8.如权利要求7所述的方法,其特征在于所述粘合剂通过加热、光化学辐射及结晶处理中的至少一种方式变硬。
9.如权利要求7所述的方法,其特征在于所述聚合物基片的Tg为大约70℃到大约160℃。
10.如权利要求7所述的方法,其特征在于所述聚合物从由聚(对苯二酸-乙二醇),聚(1,4-萘二甲酸乙二醇酯),聚(1,5-萘二甲酸乙二醇酯),(聚(2,6-萘二甲酸乙二醇酯),聚(2,7-萘二甲酸乙二醇酯),及间规聚苯乙烯构成的组中选出。
11.如权利要求7所述的方法,其特征在于所述粘合剂还包含导电微粒。
12.如权利要求7所述的方法,其特征在于所述可延展的金属是从由铜、金、银、铝、锡、铅、锌和它们相容的合金所构成的组中选出。
13.如权利要求7所述的方法,其特征在于所述粘合剂通过施加热变硬。
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