[实用新型]用于测量真空断路器机械参数的传感器

权利要求书

1.用于测量真空断路器机械参数的传感器，其特征在于由束光源1、束光源座2光电信号处理电路板3、主光栅4、主光栅减震垫5、主光栅定位弹簧6、主光栅7、副光栅8、光电转换器9、主光栅定位器10、副光栅座11、外壳12组成，主光栅7为直线光栅，其条纹等间距排列，并且镶嵌在托板4中，通过主光栅定位器调整与副光栅8的相对位置，主光栅7相对于副光栅8平行运动，副光栅8为N组半错位光栅，其条纹呈阶梯形等间距离排列，与副光栅座11连接，光电转换器安装在8和11之间，束光源1的光束通过主光栅7和副光栅8，由光电转换器9和光电信号处理电路板3进行数据信号处理，视副光栅8条纹在一定长度内错位次数，而产生相应组数正交方波。

2.按权利要求1所说的用于测量真空断路器机械参数的传感器，其特征在于所说的主光栅7其条纹宽度10～100μm，精度±1μm等间距排列，所说的副光栅8其条纹宽度10～100μm，精度±1μm呈阶梯形等间距离排列。