[实用新型]真空电磁压差角阀

说明书

本实用新型涉及阀门，特别是涉及真空泵及真空系统附件的改进设计，是用于真空泵及真空系统中当突然停电时，能自动关闭，对泵及系统起安全保护作用的阀门。

在真空系统与真空泵之间，为了在突然停电时，起安全保护作用，常须安装阀门。已有该类阀门，在构造上存在以下缺陷：一是真空电磁压差阀阀体的进气口与出气口相位差180°， 往往需要在真空泵泵口安装弯管，因此，使真空机组体积高大，结构笨重；二是已有电磁压差阀，其阀盖的导向，是由焊接在连接管上的阀盖座导向，当阀盖座焊接后加工困难，只能靠焊接时保证阀盖座的安装精度，但通过焊接后要产生热变形，故阀盖座的安装精度难以保证，从而使阀盖上的密封圈不能很好地与阀体上的密封面贴合，给阀门的密封性能带来影响。

本实用新型的目的是设计一种有利于真空系统整体设计，结构简单，体积小，阀盖座与阀体的联接灵活，加工方便，利于提高阀门的安装精度和密封性能的真空阀门。

本实用新型真空电磁压差角阀的技术方案是：由阀体、阀盖座和阀盖等所组成，其所谓的阀体是进气口与出气口的相位差90°阀体上有定位孔与阀盖座上的大圆柱面相配合，阀盖座上的小圆桩面与阀盖相配合，阀盖座的侧面或底部连接电磁先导磁阀。

本实用新型的真空电磁压差角阀，其阀体与阀盖座的装配是紧固件相固定。

本实用新型的真空电磁压差角阀，其阀盖上开有燕尾密封槽，燕尾密封槽内的密封圈与阀体进气口密封配合。

本实用新型公开了一种真空泵与真空系统之间的电磁压差角阀，阀体上进气口与出气口相位差90°，可取消原真空泵泵口的弯管，以及手动或电磁充气阀，使真空机组设计高度下降，结构紧奏。阀盖座与阀体的配合合理，阀盖座的大圆柱面与阀体的定位孔相配合，并由螺钉固定，加工灵活、方便，精度保证，密封性能好等特点。

图1是本实用新型的真空电磁压差阀结构示意图；

图2是本实用新型的真空电磁压差阀结构俯视图；

图3是本实用新型的真空电磁压差阀阀体主视图；

图4是本实用新型的真空电磁压差阀阀体俯视图；

图5是本实用新型真空电磁压差阀阀盖座主视图；

图6是本实用新型真空电磁压差阀阀盖座侧视图；

图7是本实用新型真空电磁压差阀阀盖主视图；

图8是本实用新型真空电磁压差阀阀盖侧视图。

下面结合图1一图8对本实用新型的实施例作详细说明。

1、阀体；2、阀盖座；3、阀盖；4、阀体与阀盖座配合面；5、电磁先导磁阀；6、连接管；7、螺钉；8、出气口；9、燕尾槽密封圈；10、密封圈；11、活套法兰套环；12、进气口；13、密封圈；14、阀体定位孔；15、气腔；16、阀盖座小圆柱面；17、阀盖座大圆柱面；18、充气气槽；19、燕尾槽；20、空腔。

本实用新型涉及一种真空电磁压差阀门，主要作用于真空泵及真空系统中当突然停电时，能自动关闭阀门，对泵及系统起安全保护作用。其阀体1的进气口12与出气口8相位差90°(如图1、图3所示)。阀体1联接阀盖座2，其联接处是以阀体的定位孔14与阀盖座大圆柱面17相配合，并由紧固件(如螺钉7)相固定，在阀盖座上安装阀盖3，阀盖座的侧面或底部安装连接管6，连接管的另一端与电磁先导磁阀5相连，先导阀上的充气孔与连接管内孔与阀盖座气腔15相通。先导磁阀通电时关闭，停电时打开，当压差阀(本实用新型)接在真空泵口和真空系统上，通电工作时，阀体1上进气口12和出气口8处于真空状态，电磁先导磁阀5充气口关闭，阀盖座气腔15内与阀体内的气压相同，阀盖3由于自重处于打开状态。当突然停电时，电磁先导磁阀打开，气体经电磁先导磁阀5、连接管6进入阀盖座气腔15，使气腔内的气压升到大气压(0.1MPa)，阀体内仍处于真空状态，在压差的作用下，阀盖3向上运动，关闭阀体1上的进气口12，切断了真空泵与真空系统的联系，与此同时，阀盖座上充气槽18与阀体内腔开通，气腔内的气体经充气槽进入阀体内腔与真空泵内腔，破坏泵腔内的真空度，直至真空系统与阀体内腔压力平衡，阀盖在自重的作用下回到原先打开的位置。