[实用新型]透明导电膜平面磁控溅射靶板无效
| 申请号： | 96220998.8 | 申请日： | 1996-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN2280717Y | 公开（公告）日： | 1998-05-06 |
| 发明（设计）人： | 庄孝忠;李春先;何巍;叶云;郭冰;李毅;周卫华 | 申请（专利权）人： | 深圳市创益科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市专利服务中心 | 代理人： | 张艺影 |
| 地址： | 518029 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 透明 导电 平面 磁控溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种透明导电膜平面磁控溅射靶板，由陶瓷层、连接层及金属背板所组成，其特征是：所述陶瓷层是由ITO陶瓷块通过连接层(2)与金属背板(3)连接，且形成ITO陶瓷层(1)，在ITO陶瓷层(1)的接合面缝隙处有一绝缘耐高温层(7)：所述连接层(2)是由过渡层(4)、保护层(5)及焊接层(6)组成.且由绝缘耐高温层(7)和铟锡合金层(8)构成ITO陶瓷层(1)接合面上的过渡层(4)。
2.根据权利要求1所述的一种透明导电膜平面磁控溅射靶板，其特征是：所述焊接层(6)的四周边缘与铜背板(3)表面边缘有一定距离，焊接层(6)与保护层(5)邻接。
3.根据权利要求1所述的一种透明导电膜平面磁控溅射靶板，其特征是：所述ITO陶瓷层(1)是由已烧结好的ITO陶瓷板按所需尺寸拼装而成的平面矩形ITO溅射靶材。
4.根据权利要求1所述的一种透明导电膜平面磁控溅射靶板，其特征是：所述在ITO陶瓷层(1)的接合面缝隙处粘贴的是绝缘耐高温胶带(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市创益科技发展有限公司，未经深圳市创益科技发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/96220998.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
