[实用新型]多工位气相合成金刚石膜装置

权利要求书

1、一种属于化学气相沉积技术，由六套单元系统并联构成的多工位气相合成金刚石膜的装置，其特征在于整机采用六套结构相同、工作相对独立的反应系统并行联接构成，每套系统分别由充气系统、排气系统和反应室等连接构成，采用一台氢气质量流量计和一台甲烷质量流量计分别控制两种气体的总流量。

2、根据权利要求1所述的多工位气相合成金刚石膜装置，其特征在于两路氢气经过各自的氢气截止阀并联后与氢气质量流量计、氢气转子流量计及氢气调节针阀构成氢气充气系统；甲烷经过甲烷截止阀与甲烷质量流量计、甲烷转子流量计及甲烷调节针阀构成甲烷充气系统；氢气充气系统和甲烷充气系统并联后解入反应室。

3、根据权利要求1所述的多工位气相合成金刚石膜装置，其特征在于反应室的水冷上盖、水冷观察窗、水冷圈体和水冷底盘均采用夹层结构，水冷支架配有调节螺母，水冷支架和水冷电极的进出水部分均采用活动联结器。

4、根据权利要求1所述的多工位气相合成金刚石膜装置，其特征在于排气截止阀和抽速调节针阀并联后与工作排气泵串联构成排气管路；辅助排气截止阀和辅助排气泵串联构成辅助排气管路。