[实用新型]真空系统用石英活性气体发生装置无效
| 申请号： | 96229301.6 | 申请日： | 1996-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN2273314Y | 公开（公告）日： | 1998-01-28 |
| 发明（设计）人： | 王善忠;许颐璐;杨建荣;俞锦陛;姬荣斌;巫艳;郭世平;何力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 上海华东专利事务所 | 代理人： | 高毓秋 |
| 地址： | 200083*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 系统 石英 活性 气体 发生 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空系统用石英活性气体发生装置，包括等离子体发生部分、接口及气路，其特征在于：
a.由减压阀2一端连接气源1，另一端通过气路3顺序连结角阀7和漏阀8；真空漏阀8通过波纹管9联接石英管状反应腔4，石英管状反应腔4的另一端面烧结有凹形泻流孔12；石英管状反应腔4通过接口与超高真空系统13相联结；
b.石英管状反应腔4与超高真空系统13的连接接口密封结构由氟橡胶圈14被不锈钢套15与法兰16的劈状挤压块及石英管状反应腔侧面三者挤压后构成；
c.在石英管状反应腔4两端分别与不锈钢气路及超高真空系统的连接处设有水冷套10和11，水冷套10、11与石英管状反应腔4之间的间隙中填有金属铟；
d.在石英管状反应腔4的外部耦合有射频辐射线圈5，射频辐射线圈5用空心铜质材料做成，线圈导线用水冷却，射频辐射线圈5用氟塑料支柱6支撑于机架上，保持与石英管状反应腔4之间无接触。
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