[实用新型]电容式气压传感器

说明书

本实用新型涉及一种电容式气压传感器，特别是一种内电容式气压传感器，适用于气象及航空领域中地面至30公里高度范围内的大气压力、飞行高度等参数的测量。

现在采用的内电容式气压传感器为真空膜盒内电容式气压传感器，如美国AIR从司研制的数字式气压传感器，就是在一块陶瓷基片的两面印有圆形金属图案作为平板电容器的定片，再在印有图案的陶瓷基片的两面分别焊接金属平膜片作为平板电容器的动片，形成二组并联的平板电容器，该两片金属平膜片形成一真空膜盒。这种传感器的结构虽简单，但其电容变量较小，总量仅为5pf，在150-10hpa范围内其灵敏度仅为46.7hpa/0.1pf。

本实用新型的目的就是为了提供一种既结构简单、且电容量变化大、灵敏度高的内电容式气压传感器。

本实用新型的目的是这样实现的：充分利用平板电容器的电容量与极片间距离的平方成反比的特性，尽量缩小两极片之间的距离并增大两极片的面积以及改变波纹膜片特性以增大电容变量，来提高其测试灵敏度。

以下结合附图对本实用新型一实施例进行详细说明：

图1为本实用新型纵截面的结构剖视图。

由图可知，本实用新型包括有定片1、动片2、波纹膜片3、绝缘基片4。首先在陶瓷绝缘基片4上印制出银合金定片1，在铜合金波纹膜片3内侧设置一铜动片2，将铜合金波纹膜片3与陶瓷绝缘基片4进行周边密封焊接形成真空腔体，于是定片1与动片2组成一组平板电容，其电容量可从定片1、动片2上测得。由于平板电容处于真空状态，介质为真空，彻底消除了外界气压及湿度变化对电容产生的影响，通过调整波纹膜片的变形特性，同样可达到随着气压的降低，电容量的变化则愈来愈大，测量灵敏度愈来愈高，在150-10hpa范围内其灵敏度可达22.5hpa/0.1pf，因而本实用新型特别适用于高空测量气压、飞行高度等参数。