[实用新型]辉光放电电流隔离取样器

说明书

本实用新型涉及数据的采样技术，特别提供了一种辉光放电电流隔离取样器。

在辉光放电阴极溅射时，不同样品(基体不同)即使是电压和气压相同时，放电电流也不相同，因此记录辉光放电电流数值，而且要求精确是一个十分重要而且相当关键的环节。过去使用普通模拟指针式直流毫安表测量辉光放电电流有如下弊病：1.仪表的精度低，给测量带来误差。2.人工读数给测量带来误差。3.频繁变化的辉光放电电流，人工读数及表指示跟不上电流变化而出现漏检情况，给分析带来不能够弥补损失。正是基于上述原因，需要用计算机来进行数据处理，与计算机的联接需要处理下述三个技术问题：1.将2000伏特的直流辉光放电电源产生的辉光放电电流用计算机进行数据处理；2.将0-100毫安的直流辉光放电电流变为计算机要求的毫伏级电压信号。3.送入计算机的毫伏电压信号与辉光放电电流保持宽范围的线性。

本实用新型的目的在于提供一种使取样信号与辉光放电电流保持宽范围线性的辉光放电电流隔离取样器。

本实用新型提供了一种辉光放电电流隔离取样器，其特征在于：由电阻R₁构成的信号转换电路接放大器IC₁，经电流扩展三极管G射级输出，再经电位器W₂，接光电耦合器IC₂，输出端接IC₃放大器再经W₃电位器取样输出。本实用新型具有良好的输出输入线性，与计算机联结可以精确地测量辉光放电电流，实现高压电流与计算机的隔离，下面结合附图通过实施例详述本实用新型。

附图1电气原理图

实施例

2000伏直流高压电源产生的辉光放电电流经过输出低电位端接的R₁电阻进入输入放大级IC₁，放大后的电压经过电流扩展三极管G，由射级输出经电位器W₂进入光电耦合器IC₂，由光敏三极管部分输出送入输出取样级IC₃，经W₃电位器取出计算机需要的毫伏电压送入计算机采样处理数据，参见附图1。

D₁、D₂为输入保护二极管，当输入电压超过1伏时，D₁与D₂二极管导通，使输入电压被箝位在二个二报被嵌位在两个二极管管压降之和的电压值上，D₁为2AP9，D₂为IN914。

C₉为输入电压保护电容，因电容两端电压不能突变，所以一旦输入电压突然增高，C₉的存在，使IC₁的输入电压有一缓冲保护。

电位器功能：

W₁：输入电压调节电位器，当辉光放电电流为0-100毫安时，IC₁的输入电压可以在＜1V(伏特)之内。

W₂：光电耦合器二极管输入电流调节，调节电流为1.5-7毫安时，保证输出电压与输入电压为宽范围线性。

W₃：输出电压调节电位器，调节W₃使输入辉光放电电流为0-100毫安时，取出计算机要求的毫伏值电压。

W₄：输出级IC₃增益调节电位器。

W₅：输出级IC₃调零电位器。

W₆：光电耦合器的光敏三极管部分调零电位器。

该装置有两组各自独立的直流稳压电源，一组为+12伏电源供给IC₁及G两部份电路电源，另一组为±15伏电源，供给IC₂，IC₃两部分电源，RD为电源过流保护，熔断器，K为电源开关。D₃为电源给电指示发光二极管。

附图：1.辉光放电电流隔离取样器电气原理图；

      2.辉光放电电流隔离取样器元器件表。