[实用新型]双重耦合磁力传递机械手

说明书

本实用新型属于真空设备中机械传递装置。

目前，在很多超高真空设备中，常常要求样品从一个室传递到另一个室并且要按照事先设定好的位置放置，或者将一处传递过来的样品经交接后传到另一处，这样一种功能需要有一个具有机械手的装置在高真空设备中未完成，没有特殊的装置是非常困难的，甚至根本无法实现，只好在非真空情况下，采用人工方法将样品移动位置后再行处理，有时是不可行的。

为解决以上在超真空设备中移动样品的目的，本实用新型的设计提供一种双重耦合磁力传递机械手，利用磁力耦俣的方法以实现在真空设备中移动样品的目的。

本实用新型之结构设计是这样实现的：该机械手由前后指、与前后指联接之支杆与套管，中间法兰及外面的耦合器(I)，耦合器(II)组成，其联接是中间为法兰盘，与真空设置箱体固定连接，法兰中间有套管，套管里端为后指，与套管垂直固定，套管另一端为耦合器(II)，套管与法兰中间装有球面轴承，套管中间为支杆，支杆与套管紧密配合，支杆前端为前指，与支杆垂直固定，支杆后端装有耦合器(I)耦合器(I)、(II)外面装有支架，支架顶端与法兰之间装波纹管，耦合器(II)上固定有游标，支架上与游标对应装有直线尺，在耦合器(I)上同时装有角度尺。

本实用新型优点：结构简单，制作容易，在真空设备中移动样品，灵活，使用安全方便。

本实用新型之结构由以下实施例及附图给出。

图1为双重耦合磁力传递机械手结构原理图。

其结构由附图所示1为前指，2为后指，3为球面轴承，4为连接法兰，与真空设备控制腔联接，5为波纹管，6为直线尺，7为游标，8为角度尺，9为耦合器(I)，10为耦合器II)。

工作时由双重耦合器分别驱动前指1和后指2前后移动来完成样品的抓取工作，双重耦合器可联锁，它们可同时移动和旋转使手臂移动与转动，在球面轴承和波纹管的配合下还可实现手臂的摆动，这样5个运动即可完成一个较复杂的样品移动及交接的功能，手指的形状可根据样品的形状面更换。