[发明专利]分相式高分辨率容栅位移传感器无效
| 申请号： | 97101315.2 | 申请日： | 1997-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN1163391A | 公开（公告）日： | 1997-10-29 |
| 发明（设计）人： | 赵飙;赵志强 | 申请（专利权）人： | 赵飙 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02 |
| 代理公司： | 广西壮族自治区专利服务中心 | 代理人： | 来光业 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分相式 高分辨率 位移 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种分相式高分辨率容栅位移传感器，包括在陶瓷或玻璃片上用多层布线法制成的栅条板，其特征在于：副栅栅条在连续的几个主栅节距作分相排列，每个主栅节距错位排列，栅条间用地线分隔，从栅条接出的连线通过金属引脚与电路相通。
2.根据权利要求1所述的分相式高分辨率容栅位移传感器，其特征在于副栅栅条也可按分布式排列方法排列栅条，将主栅和对应的输出副栅分布成若干个区，栅条间用地线分隔，从栅条接出的连线通过金属引脚与电路相通。
3.根据权利要求1或2所述的分相式高分辨率容栅位移传感器，其特征在于传感器在百分表或千分表、卡尺方面的应用。
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