[发明专利]一种高精度鉴相型容栅传感器的制作原理及方法无效
| 申请号： | 97101342.X | 申请日： | 1997-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN1189606A | 公开（公告）日： | 1998-08-05 |
| 发明（设计）人： | 梁春华 | 申请（专利权）人： | 桂林市精达数字产品有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01D5/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 鉴相型容栅 传感器 制作 原理 方法 | ||
【权利要求书】：
1、制作鉴相型容栅传感器主栅、副栅栅条的节距为原集成电路内部节距的五分之一。
2、副栅发射极栅条与八路驱动信号连接线之间的连接采用压焊过线的方法来代替金属化过孔。
3、根据权利要求1所述的特征，还在于副栅栅条的八路驱动信号栅条排列在同一节距内，副栅栅条间无地线隔离层，且分辨率、测量精度和示值误差都达到微米级。
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