[发明专利]工件的离子束处理方法和离子注入机无效
| 申请号： | 97102061.2 | 申请日： | 1997-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN1123051C | 公开（公告）日： | 2003-10-01 |
| 发明（设计）人： | Ｖ·Ｍ·本维尼斯特;陈炯;Ｔ·Ｎ·霍斯基;Ｗ·Ｅ·雷诺 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯计术公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 董巍,邹光新 |
| 地址： | 美国马萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 离子束 处理 方法 离子 注入 | ||
【权利要求书】：
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