[发明专利]铁电体-半导体纳米微粒复合材料薄膜的制备方法

权利要求书

1、一种铁电体一半导体纳米微粒复合材料薄膜的制备方法，其特征在于该制备方法包括以下几个步骤：

(1)配制铁电体基体前驱体溶液：

首先将二种或三种金属的醇盐或有机盐在氮气保护下以0.2～2M的浓度溶于2-甲氧基乙醇中，待充分溶解后将其混合，并在40℃～70℃下搅拌1～5小时，制成复合醇盐溶液；

(2)配制半导体化合物水溶液：首先将摩尔浓度为0.02～1M之间的Zn或Cd的硝酸盐或醋酸盐溶解到蒸馏水之中，再将等摩尔比的硫脲溶解到该溶液之中，即得到半导体化合物水溶液；

(3)配制混合前驱体溶液：按分子摩尔比MS/铁电体＝0.001～0.05的比例，量出适量的铁电体前驱体溶液和半导体化合物水溶液，其中的M为Zn或Cd；用注射器缓慢地将半导体化合物水溶液滴入铁电体前驱体溶液，并摇晃容器使两类液充分混合并使后者一定程度的水解，即获得混合前驱体溶液；

(4)铁电体半导体纳米微粒复合薄膜的制备

将刚刚混合好的混合前驱体溶液滴到基片表面上，再用匀胶机将溶胶均匀甩开，形成溶胶薄膜，甩胶速度为每分钟500转至5000转，再将基片及溶胶薄层放于烘箱或炉中，在200℃～300℃，氧气气氛下烘干25～35分钟，即形成凝胶薄膜，将该凝胶薄膜在350-700℃，氢气气氛下热处理10-200分钟，便得到了具有不同显微结构的铁电体-半导体纳米微粒复合薄膜。

2、如权利要求1所述的薄膜制备方法，其特征在于其中所述的配制前驱体溶液的金属醇盐为异丙醇钡、乙醇钡、异丙醇钛、丁醇钛、乙醇铅或乙醇铌中的任何一种。

3、如权利要求1所述的薄膜制备方法，其特征在于其中所述的配制前驱体溶液的金属有机盐为醋酸铁、醋酸镁或硝酸镉中的任何一种。

4、如权利要求1所述的薄膜制备方法，其特征在于其中所述的基片为镀铂硅片。