[发明专利]光扫描式激光加工机

说明书

本发明涉及使聚光的激光束移动扫描，进行加工的光扫描式激光加工机。

已有技术的该种装置，有特公昭62-11953号公报中所揭示的方案。以往的光扫描式激光加工机的构成及部分构成变更的部分构成图分别示于图8和图9。1是输出激光光束2的激光振荡器，激光光束2由偏转镜3偏转导向加工透镜4，由加工透镜4聚光的激光光束2向加工件5照射，由此，进行加工。

在该已有技术装置的图中示出单轴光扫描式激光加工机，其构成是采用公知的圆头螺杆、直线导轨、伺服电机等(没有图示)把持有偏转镜3及加工透镜4的加工头部6向图示的X方向驱动、进行移动扫描，由此，实施切断加工。

在以往装置中，作为在激光束2传输通路的一部分上伸缩自如的光路密闭保护体，其具体构成是设置光路伸缩软管7，经连通箱9，把逆光路伸缩软管8对称地连接至光路的相对侧。

10是用于调整、维护检查连通箱9内的偏转镜3的检查口的检查盖，11是安装在光路伸缩软管7和逆光路伸缩软管8适当位置的导轨滚轮，12是引导导轨滚轮11的导轨。图9中，示出逆光路伸缩软管8的开口端安装在加工头部6侧面的构成。

然后说明其动作。激光束2的传输通路，从激光振荡器1至加工透镜4的全路经由光路伸缩软管7、连通箱9或偏转镜3、逆光路伸缩软管8、加工头部6构成，它们形成密闭的室。在上述密闭室内，充填不妨碍激光束2传输且不污损偏转镜3和加工透镜4的洁净气体(通常是洁净的空气或干燥空气)，因此，保护激光束传输通路防止传输通路外部的非清洁气体(例如一些混入气体，在熟知的二氧化碳激光器的场合，作为妨碍激光的气体，有机溶剂的挥发性气体等是众所周知的)。

若加工头部6例如驱动至X+方向，则由导轨滚轮11和导轨12限定运动方向的光路伸缩软管7伸长、逆光路伸缩软管8压缩，也可以进行相反的动作，上述动作使加工头部6移动时，各伸缩软管腔之间，经连通箱9或加工头部6的筒体使洁净气体相互移动，因而密闭室内的洁净气体的压力经常保持大体恒定。因而，外部的非洁净气体和粉尘不能进入激光束传输通路。

以往的光扫描式激光加工机如上文所述那样构成，由于需要连通箱9，结构复杂、价格高且偏转镜的维修性能差。又，如图9所示那种把逆光路伸缩软管8非对称地安装在加工头部6的构成，与光路伸缩软管7的导轨12不能共用，必须设置逆光路伸缩软管8的专用导轨，因而结构复杂、价格昂贵。除光路伸缩软管7外，还需要逆光路伸缩软管8，因而，基本上是复杂且高价的装置，尤其在多轴移动形的加工机中，逆光路伸缩软管8的存在是累赘，会引起降低装置的其它功能例如可操作性的缺陷。

进而，在特公昭62-11953号公报中揭示了采用压力调整用的缓冲容器的方案，该方案可指出下列问题：随着可驱动范围变长，压力调整用缓冲容器的外形尺寸必须变大，因而增大设置面积，同时，使构造复杂化。又，在用伸缩软管之类的密闭程度较低的构件构成激光束传输通路时，存在随着可驱动范围变长，在偏离压力调整用缓冲容器的位置上，渐渐吸入激光束传输通路外的非洁净气体的问题。由此，光路组成构件做成使用管道和O型圈等，以确保密闭程度高，因而构造变得复杂、价格昂贵。

本发明是为解决上述已有技术装置的缺陷而提出的，其目的在于提供一种构造简单、易于维护且在其动作范围内不存在障碍的光扫描式激光加工机。

本发明的移动偏转镜和加工头部进行激光加工的光扫描式激光加工机，包括：具有伸缩自如的光路密闭保护构件的激光束传输通路，由具有气密性的伸缩自如薄膜状材料袋构成、并与所述激光束传输通路相连的压力调整用缓冲手段，在所述压力调整用缓冲手段周围设置气密性低的保护罩。

又，压力调整用缓冲手段设置在多处。

又，在激光传输通路内设置单向阀，以调整施加于光路密闭保护构件或压力调整用缓冲手段的压力。

进而，设置对压力调整用缓冲手段进行压缩的压缩手段。

又，在激光传输通路上设置洁净空气供给手段。

又，压力调整用缓冲手段是把多个袋叠合而构成的。

图1是本发明第1实施例的光扫描式激光加工机。

图2是本发明第1实施例的光扫描式激光加工机的侧视图。

图3是表示本发明压力调整用缓冲容器和光路密闭保护体容积变化关系的图。

图4是本发明第2实施例的在保护罩上设置活塞的说明图。

图5是本发明的第2实施例的保护罩作为可动机构的说明图。

图6是本发明第3实施例的光扫描式激光加工机的平面图。

图7是本发明第3实施例的光扫描式激光加工机的侧视图。