[发明专利]具有一个有特定不规则表面结构的不透明衬底的光电器件无效
申请号: | 97109999.5 | 申请日: | 1997-02-27 |
公开(公告)号: | CN1096713C | 公开(公告)日: | 2002-12-18 |
发明(设计)人: | 松山深照;松田高一 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L31/042 | 分类号: | H01L31/042;H01L25/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 杜日新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 一个 特定 不规则 表面 结构 不透明 衬底 光电 器件 | ||
1、一种光电器件,包括具有不规则表面结构的不透明的衬底,所述不规则表面结构包括在其中排列的许多线性不规则处或槽,以及形成在所述衬底的所述不规则表面结构上的光电转换层。
2、如权利要求1所述的光电器件,其中的多个线性不规则处或槽按直线形式排列。
3、如权利要求1所述的光电器件,其中的多个线性不规则处或槽以波浪状形式排列。
4、如权利要求1所述的光电器件,其中的多个线性不规则处或槽以螺旋形式排列。
5、如权利要求1所述的光电器件,其中的多个线性不规则处或槽当沿着平行于线性不规则处或槽的方向扫描时,具有15nm到300nm的中心线平均粗糙度Ra(X),当沿着垂直于直线不规则处或槽的方向扫描时,具有20nm到600nm的中心线平均粗糙度Ra(Y),并且Ra(X)/Ra(Y)之比为0.8或更小。
6、如权利要求2所述的光电器件,其中的多个线性不规则处或槽具有其范围为0.5到20μm的间距。
7、如权利要求1所述的光电器件,其中的不规则表面结构包括以直线形式排列的多个第一线性不规则处或槽以及以垂直于所述第一线性不规则处或槽的方向排列的多个第二线性不规则处或槽。
8、如权利要求7所述的光电器件,其中第二线性不规则处或槽的长度为20μm或更小。
9、如权利要求1所述的光电器件,其中不透明的衬底由金属材料或合金材料构成。
10、如权利要求1所述的光电器件,其中不透明的衬底具有柔性。
11、如权利要求1所述的光电器件,其中还包括置于不透明的衬底和光电转换层之间的背反射层。
12、如权利要求11所述的光电器件,其中背反射层含有从Au、Ag、Cu、Al和Mg构成的组中选出的至少一种元素。
13、如权利要求12所述的光电器件,其中背反射层还含有Si。
14、如权利要求11所述的光电器件,其中背反射层是一种多层结构。
15、如权利要求12所述的光电器件,其中还包括置于背反射层和光电转换层之间的透明的导电层。
16、如权利要求15所述的光电器件,其中透明的导电层含有氧化锌。
17、如权利要求1所述的光电器件,其中光电转换层具有包括在其中排列的多个直线不规则处或槽的不规则表面结构。
18、如权利要求1所述的光电器件,其中光电转换层具有多层结构。
19、如权利要求1所述的光电器件,其中光电转换层包括非单晶硅半导体材料。
20、如权利要求1所述的光电器件,其中不透明的衬底是长形的不透明衬底。
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