[发明专利]超声波振动刀具

说明书

本发明涉及一种利用超声波振动来切削一工件的刀具。

目前已知有一种超声波振动刀具，其中，一种诸如一切割刀片、金刚石刀具或锯片的刀具是整体地设置在一随着以预定频率进行的超声波振动而发生共振的共振器内，作为一用来从晶片、金属箔、印刷电路板或合成树脂基片上切割作为半导体元件的半导体芯片的工具。

但是，由于所述刀具是整体地设置在所述共振器内不能更换唯一的刀具，因此，这种已有技术的超声波振动刀具是不经济的。

为了解决该问题，本发明旨在提供一种能更换刀具并且具有经济优点的超声波振动刀具。

根据本发明的第一方面，提供了一种超声波振动刀具，它是用一安装在一共振器上的刀具来切削工件的，所述共振器随着以预定频率进行的超声波振动而发生共振。由于所述刀具是安装在最小振幅点处或者所述最小振幅点附近，因此，可以有效地将沿切削方向进行的振动赋予所述刀具，从而可以有效地进行切削。

由于所述共振器具有一大直径部分和一从所述大直径部分的一端面同轴地凸伸出来的阳螺纹部分，在其圆盘形圆周部分上具有一切削刀片的所述刀具是安装在所述阳螺纹部分上，并且一螺母紧固于从该刀具凸伸出来的所述阳螺纹部分，以可拆卸地安装所述刀具，从而借助所述螺母和大直径部分使所述刀具位于共振器的最小振幅点处，因此藉助螺母的紧固作用力，可以牢固地固定所述刀具。

此外，由于所述刀具是用所述螺母可拆卸地安装于最小振幅点处，因此，通过将所述螺母与所述阳螺纹部分分开，可以很方便地更换所述刀具。

根据本发明的第二方面，提供了一种超声波振动刀具，它具有两个安装在一共振器上用于切削工件的刀具，所述共振器随着以预定频率进行的超声波振动而共振。由于所述的两个刀具是可拆卸地安装在离开所述共振器最小振幅点等距的位置上，因此，可以用所述的两个刀具进行切削作业。

由于具有相同形状的两个刀具是用其间留有预定间距的两螺母安装的，因此，通过将该两螺母与所述阳螺纹部分分开，可以很方便地更换该两刀具。

此外，当用其间设有预定间距的诸螺母来安装具有相同形状的多个刀具时，可以从一工件上切下若干具有预定宽度的部分。

从以下结合附图的详细描述中，本发明的上述和其它目的、特征和优点将变得更为清楚。

图1示出了本发明的第一实施例，其中图1(a)是该实施例的外观立体图，图1(b)是一分解剖视图，图1(c)是一表示与振动波形相互关系的波形图。

图2示出了本发明的第二实施例，其中图2(a)是该实施例的外观立体图，图2(b)是一分解剖视图，图2(c)是一表示与振动波形相互关系的波形图。

图1示出了本发明的第一实施例，其中，一沿着垂直于中心轴L的方向凸伸出来的金刚石刀具2藉一螺母3而安装在一共振器1上，所述共振器大体被模制成圆柱形并具有中心轴L。所述共振器1具有：一其直径小于所述金刚石刀具2直径的大直径部分1a；一同轴地设置在所述大直径部分1a的一端面上的小直径部分1b；一同轴地设置在所述大直径部分1a的另一端面上并装入所述金刚石刀具2的通孔2a内的阳螺纹部分1c；一同轴地设置在所述阳螺纹部分1c的一端面上的小直径部分1d；以及形成在所述小直径部分1b和1d的端面中心的螺孔1e和1f。可将一在其中心处具有一通孔2a的商品用作所述金刚石刀具2。所述螺母3具有一待装入所述共振器1的阳螺纹部分1c上的螺纹部分3a。