[发明专利]等离子体源

权利要求书

1、一种等离子体源，它包括：

一个安置加工目标的加工室；

用于从该加工室外面在该加工室中产生一感生电场来产生等离子体的等离子体发生器；

用于在由该等离子体发生器产生的等离子体中产生一个方向水平于加工目标表面的电场的水平电场发生器；

用于控制由该水平电场发生器产生的水平电场的控制器，以控制等离子体中等离子体组成粒子的速度和运动方向。

2、根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所说的等离子体发生器包括放电器和高频电源，放电器置于加工室外面，用于加工室中的感应放电，以产生感生电场，高频电源用于给该放电器供应高频电能。

3、根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所说的等离子体发生器包括置于加工室外面的微波发生器和波导，波导用于将该微波发生器所产生的微波导入加工室，以便在加工室中产生感应电场。

4、根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所说的水平电场发生器产生一个方向水平于加工目标表面的磁场；而且改变该磁场以产生一个方向水平于加工目标表面的电场。

5、根据权利要求4所述的等离子体源，其特征在于，所说的水平电场发生器产生一个方向水平于加工目标表面的磁场，并且使该磁场旋转，以产生一个基于该旋转磁场的旋转电场，从而产生一个方向水平于加工目标表面的电场。

6、根据权利要求5所述的等离子体源，其特征在于，所说的水平电场发生器包括一个多相交流电源和多个多相交流磁铁，多相交流磁铁沿加工室的圆形壳体外放置，由该多相交流电源供电，以产生一个在围绕置于加工室内的加工目标表面的垂直轴线的水平方向旋转的旋转磁场。

7、根据权利要求4所述的等离子体源，其特征在于，水平电场产生器产生一个方向水平于加工目标表面的磁场，而且周期地使该磁场的方向反向，以产生一个方向水平于加工目标表面的电场。

8、根据权利要求1所述的等离子体源，其特征在于，所说的水平电场发生器包括多个电极和一个高频电源，多个电极以预定的间隔沿加工室的圆形壳体外放置，高频电源给每个电极提供频率不变但电极之间相位改变的高频电能，从而在加工室中产生旋转电场。

9、根据权利要求4所述的等离子体源，其特征在于，所说的控制器控制由所说的水平电场发生器产生的、方向水平于加工目标表面的磁场的时间变化率，从而控制叠加上垂直电场而成的复合电场的强度和方向，即控制等离子体中的等离子体组成粒子的速度和移动方向。

10、根据权利要求9所述的等离子体源，其特征在于，所说的控制器控制由水平电场发生器产生的、方向沿加工目标表面的旋转磁场的旋转频率。

11、根据权利要求9所述的等离子体源，其特征在于，所说的控制器控制由水平电场发生器产生的、方向水平于加工目标表面的磁场的反向频率。

12、根据权利要求8所述的等离子体源，其特征在于，控制器控制由水平电场发生器产生的、方向水平于加工目标表面的旋转场的旋转频率，由此控制叠加上垂直电场而成的复合电场的强度的方向，从而控制等离子体中的等离子体组成粒子的速度和移动方向。