[发明专利]光栅/光点复制直写仪无效

专利信息
申请号: 97111119.7 申请日: 1997-05-06
公开(公告)号: CN1198541A 公开(公告)日: 1998-11-11
发明(设计)人: 郭奇旺;李世光 申请(专利权)人: 华锦光电科技股份有限公司
主分类号: G03B41/00 分类号: G03B41/00
代理公司: 上海专利商标事务所 代理人: 陈亮
地址: 中国*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 光栅 复制 直写仪
【权利要求书】:

1.一种光栅/光点复制直写仪,其特征在于包括:

一光源模组,用来提供产生光栅影像所需要的光源,并利用其提供的能量在感光物质上曝光,

一光栅影像产生模组,用来产生预期制作在感光物质上的光栅影像,

一光学影像处理模组,用来缩小光栅影像产生模组所产生的影像至预期光栅的大小,

一感光物质,用来记录光栅,

一感光物质位置控制模组,用来夹持感光物质及控制感光物质的位置,及

一控制单元,用来提供各模组所需的控制讯号。

2.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该控制单元由电脑或微处理器构成。

3.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光源模组使用发光二极管。

4.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:其光源模组使用半导体激光。

5.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:可由一半导体激光取代该光源模组及光栅影像产生模组。

6.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:可由发光二极管取代该光源模组及光栅影像产生模组。

7.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光栅影像产生模组由光扩散板、可控制旋转角度的光栅光罩以及面积控制光罩所组成。

8.根据权利要求7所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光栅光罩是包括多个表面形成有不同节距光栅的光罩所组成。

9.根据权利要求8所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该多个光栅光罩是可排列于同一轴线上,可通过控制单元的控制,使其一光栅光罩移动至光线投射路径上,以产生不同光栅节距影像。

10.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光栅影像产生模组由光扩散板及液晶显示器所组成。

11.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光学影像处理模组是使用缩影镜头。

12.根据权利要求1或11所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光学影像处理模组由平行化镜头及聚焦镜头所组成。

13.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该光学影像处理模组由傅氏转换透镜、逆傅氏转换透镜以及滤波光罩所组成。

14.根据权利要求13所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该滤波光罩可设在两透镜之间。

15.根据权利要求13所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该些透镜可为单透镜或组合透镜构成。

16.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该位置控制模组使用可程式控制的位移控制平台。

17.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:更包括有自动对焦模组。

18.根据权利要求1所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:更包括有成像品质监控模组。

19.根据权利要求18所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该监控模组可包括一半穿透/半反射透镜、影像接收器以及监视器构成。

20.根据权利要求19所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该半穿透/半反射透镜是设置在光栅影像处理模组内。

21.根据权利要求19所述的光栅/光点复制直写仪,其特征在于:该影像接收器为一CCD元件。

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