[发明专利]压电薄膜元件

权利要求书

1.一种压电薄膜型元件，其结构包括一个陶瓷基片(2，12)，和一个薄膜型压电工作层，所述的工作层包括设在所述的陶瓷基片(2，12)的至少一表面的至少一部分上成层状结构的单一压电层(8，18)，和分别整体设在沿所述的压电层(8，18)的厚度方向的两侧的第一和第二电极(6，6，10，20)，其中在所述的压电工作层上没有叠着其它的压电工作层；所述的压电薄膜型元件包括：

使用单一的平薄膜型电极层形成的所述的第一电极(6，16)；

至少一部分使用多个条形电极形成的所述的第二电极(10，20)，

由所述的第一和第二电极(6，16，10，20)构成的第一压电工作装置；和

由所述的压电层(8，18)和所述的第二电极(10，20)的多个条形电极构成的第二压电工作装置。

2.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于所述的压电层(8，18)由具有不大于10KV/cm的反电场的压电材料形成。

3.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于所述的陶瓷基片(2，12)设成一薄壁薄膜段，并且所述的压电工作层整体地设在所述的薄膜段的外表面。

4.按照权利要求3的压电薄膜型元件，其特征在于所述的薄膜的厚度不大于50μm。

5.按照权利要求3的压电薄膜元件，其特征在于构成所述的陶恣基片(2，12)的所述的薄膜段的晶体的平均尺寸为0.1-2μm。

6.按照权利要求的压电薄膜型元件，其特征在于；

所述的陶瓷基片(2，12)具有至少一个空心空间(4，14)；

成为从外面包容所述的空心空间(4，14)的壁部的所述的陶瓷基片的一部分设成一薄壁薄膜段(2a，12a)；和

所述的压电工作层整体设在所述的薄膜段(2a，12a)的外表面。

7.按照权利要求6的压电薄膜型元件，其特征在于所述的薄膜段(2a，12a)的厚度为不大于50μm。

8.按照权利要求6的压电薄膜型元件，其特征在于构成所述的陶瓷基片(2，12)的至少所述的薄膜段(2a，12a)的晶体平均尺寸为0.1-2μm。

9.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于所述的多个条形电极(10a，10b，20a，20b)分成两个不同的组，各包括交替的电极，使各所述的交替的电极沿纵向分别在两端中的一端相互连接，以构成两个梳形电极。

10.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于所述的陶瓷基片(2，12)由含有作为主要成分的完全稳定或部分稳定的氧化锆的材料构成。

11.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于所述的压电层(8，18)厚度为不大于100μm。

12.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于所述的压电工作层厚度为不大于150μm。

13.按照权利要求1的压电薄膜型元件，其特征在于它满足下列公式：

0.3≤x/y≤6

其中，x是所述的压电层(8，18)的厚度，而y是所述的条形电极(10a，10b)之间的距离。