[发明专利]带有集成的反应气体源的等离子体寻址液晶显示装置无效
申请号: | 97114900.3 | 申请日: | 1997-06-28 |
公开(公告)号: | CN1177118A | 公开(公告)日: | 1998-03-25 |
发明(设计)人: | K·J·伊尔茨西恩;T·S·布扎克;P·C·马丁 | 申请(专利权)人: | 特克特朗尼克公司 |
主分类号: | G02F1/133 | 分类号: | G02F1/133 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 张志醒,王忠忠 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 带有 集成 反应 气体 等离子体 寻址 液晶 显示装置 | ||
1、等离子体寻址液晶显示装置,包括:
确定互连通道阵列的通道基板,
在通道上延伸并密封通道基板的盖板,从而由通道基板和盖板构成密封体积,
所述密封体积中的可电离气体,
每个通道中的一对电极用于有选择地电离各自通道中的气体,和
与密封体积连通的掺杂气体源,所述源包括双向地吸收和释放所述掺杂气体的储存材料体,从而在材料体中掺杂气体的浓度和所述密封体积中掺杂气体局部压力之间建立平衡状态。
2、如权利要求1的装置,其特征在于:可电离气体为惰性气体,而掺杂气体为氢气。
3、如权利要求1的装置,其特征在于:可电离气体为氦气,而掺杂气体为氢气。
4、如权利要求1的装置,其特征在于:可电离气体为氩气,而掺杂气体为氢气。
5、如权利要求1的装置,其特征在于:材料体固定在拥有与所述密封体积连通的内部空间的容器中。
6、等离子体寻址液晶显示板,包括:
带有周边并确定平行互连通道阵列的通道基板,
在通道上延伸并密封通道基板的盖板,从而由通道基板和盖板构成密封体积,
所述密封体积中氦气的局部压力在范围约50mB至约350mB内。
每个通道中有一对电极用于有选择地电离各通道的氦气,和
双向地吸收和释放氢气的储存材料体,使氢在密封体积中的氢气局部压力在约0.02mB至约36mB范围内。
7、如权利要求6的显示板,其特征在于:储存材料体装在拥有与通道连通的内部空间的排气管中。
8、如权利要求6的显示板,其特征在于:储存材料体装在附着在通道基板上并有与通道连通的内部空间的排气盒中。
9、等离子体寻址液晶显示板,包括:
带有周边并确定一排平行互连接通道的通道基板,
在通道上延伸并密封通道基板的盖板,从而通道基板和盖板构成密封体积,
所述密封体积内氩气的局部压力在约50mB至350mB范围内,
各自通道中用于有选择地电离氩气的每个通道中的一对电极,和
双向地吸收和释放氢气的储存材料体,使氢在密封体积中的氢气局部压力在约0.02mB至约36mB范围内。
10、如权利要求9的显示板,其特征在于:储存材料体装在拥有与通道连通的内部空间的排气管中。
11、如权利要求9的显示板,其特征在于:储存材料体装在附着在通道基板上并有与通道连通的内部空间的排气盒中。
12、制造等离子体寻址液晶显示板的改善方法,包括:
(a)设置确定互连等离子体通道阵列的通道基板,每个通道中有一对电极用于选择电离各自通道中的气体,
(b)在通道上安装盖板,并把盖板附着在通道基板上,从而由通道基板和盖板限定一个腔,
(c)加热通道基板组件到温度至少约200℃。
(d)将腔排气至压力约10-5torr以下,
(e)把可电离气体引入腔,和
(f)密封所述腔,其中改善包括:
(g)在步骤(a)和步骤(c)之间,设置材料体,依据所述选择气体的局部压力,它双向地吸收和释放选择气体,并把以气态方式流动的所述材料体与所述腔连通,和
(h)在步骤(c)和步骤(f)之间,把所述选译的气体引入所述腔。
13、如权利要求12的方法,其特征在于:可电离的气体是惰性气体,而所述选择的气体是氢气。
14、如权利要求12的方法,其特征在于:可电离的气体为氦气,而所述选择的气体为氢气。
15、如权利要求12的方法,其特征在于,可电离的气体为氩气,而所述选择的气体为氢气。
16、如权利要求12的方法,其特征在于:步骤(h)包括把所述选择的气体引入腔达到选择的局部压力,该方法包括在步骤(h)之后完成步骤(d)。
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