[发明专利]无化学物质的干燥空气发生装置

说明书

本发明涉及一种例如制造半导体装置时为了防止化学污染而供应的无化学物质的干燥空气的发生装置。

以往，半导体装置因来自制造工艺过程中的环境污染而降低了产品合格率，所以要在控制温湿度的同时通常还除去了数微米级异物的环境内进行制造。进而，为了防止与空气中的水分进行化学反应，根据需要供应干燥空气。

近年来，随着半导体装置高集成化而引起的图形微细化和膜厚的薄膜化，在供应半导体装置的制造装置和传送装置或保管装置的干燥空气中，由于含有有机物或无机物组成的亚微米级的烟雾或气体而引起的化学污染也成为问题。举例说，在干燥空气发生装置所输入的室外空气内混入了硫化物类气体或酸类气体等会发生腐蚀用于半导体装置的金属等而使半导体装置的可靠性下降等的问题。因此采用把不含有烟雾或气体的N₂供应给传送装置或保管库的方法，但存在N₂成本高(约35日元/m³)，还发生缺氧状态等安全方面的问题。因此，提出了供应无化学物质的干燥空气以代替N₂。

图3是表示现有的无化学物质的干燥空气发生装置的示意图。图中6是干燥空气发生装置，该装置由压缩机7、冷冻式干燥器8和水分吸附用催化剂9构成。13是活性炭等化学吸附用催化剂，5是除去数微米级异物的HEPA(High Efficiency Particulate Air)过滤器。导入了的室外空气经干燥空气发生装置除去水分后，再把除去了化学烟雾和异物的洁净的无化学物质的干燥空气供应制造装置和传送装置或保管装置。

现有的无化学物质的干燥空气发生装置如上构成，存在用于除去化学烟雾的化学吸附用催化剂13价格非常高(供应1500m³/h，大约要花掉5亿日元)等的问题。

本发明就是为了解决上述问题而完成的，其目的是提供一种能够以低成本供应无化学物质的干燥空气的无化学物质的干燥空气发生装置。

本发明的无化学物质的干燥空气发生装置备有：由室外空气导入风机和化学过滤器与HEPA过滤器构成的风机过滤单元；具有密闭结构的房间，对该房间供应通过了风机过滤单元的空气；及配置在具有密闭结构的房间内的把干燥空气供应房间以外的干燥空气发生装置，同时将该房间内的空气供给该干燥空气发生装置。

并且，具有密闭结构的房间的空气压力被调整到比房间外部的压力高的正压状态。

并且，具有密闭结构的房间墙壁材料覆盖了放气少的材料。

并且，具有密闭结构的房间的结构能将异物和化学烟雾从房间的空气中除去而使空气洁净。

并且，具有密闭结构的房间是多个并列配置的，且经阀门连接到共用的部位。

图1是表示本发明实施例1的无化学物质的干燥空气发生装置示意图。

图2是表示本发明实施例2的无化学物质的干燥空气发生装置示意图。

图3是表示现有的这种无化学物质的干燥空气发生装置示意图。

实施例1

下面，按图说明作为本发明一个实施例的无化学物质的干燥空气发生装置。图1是表示本发明实施例1的无化学物质的干燥空气发生装置示意图。在该图中，1是配置于室外空气吸入部分的初级过滤器，2是由室外空气导入用的风机3、化学过滤器4和HEPA过滤器5构成的风机过滤单元，经过初级过滤器1吸入室外空气，再通过化学过滤器4和HEPA过滤器5，供应除去了化学烟雾与数微米级异物后的洁净无化学物质的空气。

6为干燥空气发生装置，由压缩机7、冷冻式干燥器8和水分吸附用催化剂9构成。10a、10b和10c是设置于连接管的阀门，10a是用于对从干燥空气发生装置6流向风机过滤单元2的空气进行开闭的阀门，10b是用于对从干燥空气发生装置6流向使用点的空气进行开闭的阀门，10c是用于把来自干燥空气发生装置6的空气向无化学物质的干燥空气的发生装置外部排放的阀门。11是配置了风机过滤单元2和干燥空气发生装置6等的房间，整个房间11变成了无化学物质的干燥空气发生系统室。因此，为了防止室外空气侵入房间11，所以在出入口设有两道门，将房间11内的压力控制成比室外气压高的正压状态。另外，为了防止从混凝土墙内放出气体，所以对房间11的内壁用放气少的氯乙烯膜等进行覆盖。