[发明专利]一种高稳定度石英谐振式力传感器无效
| 申请号： | 97116456.8 | 申请日： | 1997-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1065337C | 公开（公告）日： | 2001-05-02 |
| 发明（设计）人： | 冯冠平;王晓红;朱惠忠 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 清华大学专利事务所 | 代理人： | 刘晓蕊 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 石英 谐振 传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种高稳定度石英谐振式力传感器，包括电极(1)、上砧(5)、石英谐振器(4)、下砧(3)、壳体(2)、上砧(5)的底部和下砧(3)的上部分别开有宽度略大于石英谐振器(4)厚度的凹槽用于固定石英谐振器(4)，石英谐振器(4)由上砧(5)和下砧(3)支撑在传感器的壳体(2)内，外力F通过上砧(5)、下砧(3)对石英谐振器(4)产生对径的压力，其特征是：上砧(5)的位置由膜片(6)和上支撑板(9)所组成的双膜片结构限制，膜片(6)和上支撑板(9)之间用一柱体(7)联接，构件与构件的联接均采用胶粘剂粘接；所述的上支撑板(9)的厚度为0．15mm～2mm；构件与构件联接用胶粘剂的玻璃化转变温度为30℃以上。
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