[发明专利]级联扫描光学系统

权利要求书

1．一种级联扫描光学系统，包括：

一对激光扫描光学系统，各有一个激光束发射器和一个激光束偏转器，其中所述激光束发射器发射的激光束进入所述激光束偏转器，从而所述激光束偏转器偏转所述激光束以扫描一个部件的表面，使得所述激光束投射到所述表面上的一条公共线上并位于所述公共线的相应区间内；

一对反射镜，分别置于所述一对激光扫描光学系统中，所述一对反射镜各位于所述激光束偏转器与所述部件之间的相应光路中，以把入射到其上的激光束反射向所述表面；

一对在与主扫描方向垂直的分扫描方向具有光焦度的柱面透镜，分别设置在所述一对激光扫描光学系统中，所述一对柱面透镜各位于所述激光束发射器与所述激光束偏转器之间的相应光路中；

用于调节所述一对反射镜至少其一相对于所述表面角度的第一机构；和

用于调节所述一对柱面透镜至少其一相对于相应一个所述激光束偏转器的位置的第二机构。

2．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中调节所述第一机构，是为了在分扫描方向调节由所述一对反射镜至少其一所反射的激光束入射到所述表面上的入射位置，且

其中调节所述第二机构，是为了在分扫描方向上调节来自所述一对柱面透镜至少其一的激光束入射到所述相应一个激光束偏转器上的入射位置。

3．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中设置在所述一对扫描光学系统每个中在所述激光束偏转器与所述部件之间相应光路中的整个光学系统的横向放大率预先设定为使得所述横向放大率的绝对值小于1。

4．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中所述第一机构用于只调节所述一对反射镜其一相对于所述表面的角度，而其中所述第二机构用于调节每个所述柱面透镜相对于所述相应一个激光束偏转器的位置。

5．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中所述第二机构通过转动所述一对柱面透镜的所述至少其一，来调节它相对于所述相应一个激光束偏转器的倾斜角位置。

6．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中所述第二机构通过沿分扫描方向移动所述一对柱面透镜的所述至少其一来调节所述位置。

7．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中所述部件是一个其外围具有所述表面的鼓，

其中所述激光束偏转器使所述激光束偏转以扫描所述表面，以使所述激光束投射到所述表面上沿所述鼓轴向延伸的所述公共线上，并位于所述公共线的相应区间内。

8．根据权利要求1所述的级联扫描光学系统，其中所述激光束偏转器是一个多角镜。

9．根据权利要求8所述的级联扫描光学系统，其中还包括：

一个第三调节装置，用于调节所述一对柱面透镜的另一个相对于另一个所述多角镜的位置。