[发明专利]可燃气体传感器及其制造方法

权利要求书

1.一种可燃气体传感器，包括：

封装壳体；

敏感元件，具有线圈形式的加热部件和膜形式的燃烧部件，所述膜形成在构成线圈的导线的表面上，燃烧部件上弥散着催化剂；及

补偿元件，具有线圈形式的加热部件和膜形式的燃烧部件，所述膜形成在构成线圈的导线的表面上，燃烧部件上没有弥散催化剂。

2.根据权利要求1的传感器，其中，所述线圈由直径为0.005-0.06mm的铂或铂合金构成。

3.根据权利要求1或2的传感器，其中，所述燃烧部件用多孔氧化物半导体膜构成，其厚度比所述线圈导线直径大0.5-5倍，多孔氧化物半导体膜是由n型热氧化金属形成的。

4.根据权利要求3的传感器，其中，所述n型热氧化金属是氧化锡或者氧化锌，该氧化锡或者氧化锌表现出对于某种气体热导效率增加。

5.一种制造可燃气体传感器的方法，该方法包括以下步骤：

分别焊接铂或铂合金制的两个线圈与封装电极；

在铂或铂合金制的每个线圈上电解电镀金属膜；

热氧化金属膜，形成多孔金属氧化物膜；

把包含贵金属的化学药品浸渍到多孔金属氧化物膜中，以用作敏感元件；及

在浸渍了贵金属后，进行干燥和焙烧。

6.根据权利要求5的方法，其中，在电解电镀步骤中，所述线圈沉入锡电解液中，在焊接于其上的线圈的封装电极上加阴极电压，电解液中的锡加阳极电压。

7.根据权利要求5的方法，其中，在热氧化步骤中，在封装电极的两端加电压，保持在高于500℃的温度下加热镀锡线圈。

8.根据权利要求5的方法，其中，浸渍贵金属催化剂的步骤包括以下步骤：

把含有贵金属的化学药品以一定浓度溶于合适的溶液中，及

用分配器把所需量的溶液分配到将用作敏感元件的多孔金属氧化膜上。

9.根据权利要求8的方法，其中，所述含有贵金属的化学药品是H₂PtCl₆(6H₂O)和PdCl₂。