[发明专利]半导体器件测试装置无效
| 申请号： | 97117880.1 | 申请日： | 1997-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1146731C | 公开（公告）日： | 2004-04-21 |
| 发明（设计）人： | 大西武士;铃木克彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱德万测试 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马莹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体器件 测试 装置 | ||
【说明书】：
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