[发明专利]涂敷硬碳膜的基底及其制造方法

权利要求书

1.一种涂敷硬碳膜的基底，其特征在于包括：

基底：

在所述基底上形成的中间层，所述中间层主要由从Al、Cr、Sn、Co和B及它们的氧化物、氮化物和碳化物中选出的至少一种构成；以及

在所述中间层上形成的硬碳膜。 

2.如权利要求1所述的涂敷硬碳膜的基底，其特征在于所述基底包括金属或合金，所述金属或合金主要包括Ni或Al或不锈钢。

3.如权利要求1或2所述的涂敷硬碳膜的基底，其特征在于所述基底是用于电动剃须刀刀片的基底。

4.如权利要求1所述的涂敷硬碳膜的基底，其特征在于所述基底包括铸铁、钢、不锈钢、铁合金、非铁金属材料、陶瓷、贵金属或碳。

5.如权利要求1、2或4所述的涂敷硬碳膜的基底，其特征在于所述基底是用于滑动部分的基底。

6.如权利要求1-5中任一项所述的涂敷硬碳膜的基底，其特征在于用溅射法形成所述中间层。

7.一种用于制备如权利要求1-6中任一项的涂敷硬碳膜的基底的方法，其特征在于通过溅射法在所述基底上形成所述中间层，在所述溅射法中，把射频电压加到基底上，从而在基底中产生的自偏电压不超过-20V。

8.一种在基底上设置硬碳膜的方法，其特征在于包括以下步骤：

通过电镀在所述基底上形成中间层；以及

在所述中间层上形成所述硬碳膜。

9.一种在基底上设置硬碳膜的方法，其特征在于包括以下步骤：

通过电铸在模子上淀积形成所述基底；

通过电镀在所述基底上形成中间层；以及

在所述中间层上形成所述硬碳膜。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于在电镀步骤中，在基底留在模子上时形成所述中间层。

11.如权利要求8-10中任一项所述的方法，其特征在于所述基底的至少一个表面是导电的。

12.如权利要求8-11中任一项所述的方法，其特征在于所述基底包括主要由Ni或Al或不锈钢形成的金属或合金。

13.如权利要求8-12中任一项所述的方法，其特征在于所述基底是电动剃须刀刀片的基底。

14.如权利要求8-11中任一项所述的方法，其特征在于所述基底包括铸铁、钢、不锈钢、铁合金、非铁金属材料、陶瓷、贵金属或碳。

15.如权利要求8-12和14中任一项所述的方法，其特征在于所述基底是滑动部分的基底。

16.如权利要求8-15中任一项所述的方法，其特征在于所述中间层包括从Ru、Cr、Sn和Co或主要包括它们的合金构成的组中选出的至少一种金属。

17.如权利要求8-16中任一项所述的方法，其特征在于在所述中间层中散布氧化物、氮化物或碳化物构成的微小颗粒。

18.一种电动剃须刀的刀片，其特征在于所述刀片具有一基片，依据权利要求8-13、16和17中任一项所述的方法通过中间层在该基片上形成的硬碳膜。