[发明专利]用于大功率半导体模件的液体冷却装置无效
申请号: | 97121215.5 | 申请日: | 1997-10-23 |
公开(公告)号: | CN1180990A | 公开(公告)日: | 1998-05-06 |
发明(设计)人: | T·弗雷;A·斯吐克;R·泽林格尔 | 申请(专利权)人: | 亚瑞亚·勃朗勃威力有限公司 |
主分类号: | H05K7/20 | 分类号: | H05K7/20;H01L23/473 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 马铁良,张志醒 |
地址: | 瑞士*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 大功率 半导体 模件 液体 冷却 装置 | ||
1.一种用于大功率半导体模件(14)的液体冷却装置(1),包括多个依次配置在一冷却表面(3)上的发热的子模件(8a-h),每个子模件(8a-h)包含至少一个功率半导体装置,该装置安装到电绝缘陶瓷基底上,并且熔焊到陶瓷基底的底侧的冷却表面(3)上,所述液体冷却装置(1)的壳体(2)内具有液体腔(4),冷却液流过该液体腔,冷却表面(3)形成在液体腔的上侧,其特征在于,液体冷却装置(1)的壳体(2)由金属陶瓷合成材料铸造而成,它至少位于冷却表面(3)的区域内,其热膨胀系数与陶瓷基底或子模件(8a-h)的功率半导体装置的热膨胀系数相一致,以及一个辅助装置(11a-h;12),用于改善冷却面(3)和盛放在液体冷却装置(1)的液体腔(4)内的冷却液体之间的热传递性能。
2.如权利要求1所述的液体冷却装置,其特征在于,壳体材料的热膨胀系数小于10ppm/k,最好小于7ppm/k。
3.根据权利要求2所述的液体冷却装置,其特征在于,壳体材料采用碳化硅合成材料,最好是碳化铅硅(AlSic)或碳化铜硅(CuSic),并且壳体(2)是由这些材料铸造而成。
4.根据权利要求1-3之一的液体冷却装置,其特征在于,冷却装置(1)的整个壳体(2)的用料具有相互适配的热膨胀系数。
5.根据权利要求1-3之一的液体冷却装置,其特征在于,与冷却表面(3)相对设置的壳体底板(13)采用不同的材料制成,例如塑性材料。
6.根据权利要求1-5之一的液体冷却装置,其特征在于,辅助装置(11a-h;12)包括多个从冷却面(3)插入液体腔(4)的杆(12)。
7.如权利要求6所述的液体冷却装置,其特征在于,杆采用与冷却表面(3)相同的材料制成,而且这些杆是与冷却表面(3)一体形成的。
8.根据权利要求6和7之一的液体冷却装置,其特征在于,杆(12)是圆柱形的,其圆柱体轴芯垂直于冷却液面(3)布置。
9.根据权利要求6-8之一的液体冷却装置,其特征在于,所述杆(12)呈六角形对称布置。
10.根据权利要求6-9之一的液体冷却装置,其特征在于,杆(12)组合成杆组(11a-h),并且各个杆组(11a-h)与子模件(8a-h)相对应。
11.根据权利要求10的液体冷却装置,其特征在于,装置(10)用于限制液体腔(4)内的冷却液流基本上流向杆组(11a-h)所处的区域。
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