[发明专利]应用声表面波元件(OFW元件)的压力传感器无效
| 申请号： | 97121432.8 | 申请日： | 1997-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN1178902A | 公开（公告）日： | 1998-04-15 |
| 发明（设计）人： | H·谢尔;G·斯科尔 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 萧掬昌,叶恺东 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用 表面波 元件 ofw 压力传感器 | ||
1、应用声表面波元件(OFW元件)并将之装在压力接收膜形变不相同的位置上的压力传感器，其特征在于：在压力接收膜(2)上构成有至少3个反射器(4，5，6)的反射式OFW延迟线(2-6，8)，这些反射器既分布在压力接收膜(2)的膨胀区，也分布在其压缩区。
2、如权利要求1所述的压力传感器，其特征在于：用作压力接收膜(2)的是OFW延迟线(2-6，8)的压电衬底。
3、如权利要求1和(或)2所述的压力传感器，其特征在于：OFW延迟线有3个反射器(4，5，6)，其中第一反射器(4)装在压力接收膜(2)的膨胀区，第二个反射器(5)装在压力接收膜(2)的压缩区，第三个反射器(6)装在第一和第二反射器(5，6)之间。
4、如权利要求3所述的压力传感器，其特征在于：第三反射器(6)装在压力接收膜(2)的膨胀区与压缩区之间的中性过渡区。
5、如权利要求1至4中任何一项所述的压力传感器，其特征在于：
所装第四反射器(8)与第一、第二或第三反射器(4，5，6)靠得很近，因而在最大压力时这些反射器(例如4，8)上反射的声表面波之间产生的相移最大为360°。
6、如权利要求1至4中任何一项所述的压力传感器，其特征在于：
第四反射器(8)大致装在第一、第二、第三反射器(4，5，6)中两个反射器(4，6)之间的中心。
7、如权利要求1至6中任何一项所述的压力传感器，其特征在于：
反射式延迟线(2-6，8)的反射器(4，5，6，8)以唯一一条声道安装在压力接收传感器(2)上。
8、如权利要求1至6中任何一项所述的压力传感器，其特征在于：
反射式延迟线的反射器(4，5，6)装在至少2个由环行器(9)耦合的声道上。
9、如权利要求1至8中任何一项所述的压力传感器，其特征在于：构成可由无线电远距访问的传感器，其反射式延迟线(2-6，8)的一输入/输出叉指式换能器(3)与接收访问信号并发射回答信号的天线相耦合。
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