[发明专利]无水印产生的方法及其装置

权利要求书

1．一种无水印产生的方法，适用于经水分冲洗后之被清洗物件，该无水印产生的方．法具有下列步骤：

提供第一工作流体，该第一工作流体的挥发性大于该水分的挥发性，并且该第一工作流体与该水分互溶；

将经过该水分冲洗后之该被清洗物件浸入于该第一工作流体中，使得附着于该被清洗物件之该水分与该第一工作流体互溶；及

将浸泡于该第一工作流体中之被清洗物件取出后，置放于一干燥装置内部进行干燥处理。

2．如权利要求1所述之无水印产生的方法，其特征在于，该第一工作流体是容纳于一容器内。

3．如权利要求2所述之无水印产生的方法，其特征在于，该干燥装置内部容纳有第二工作流体，该第二工作流体用以对被清洗物件进行干燥处理。

4．如权利要求3所述之无水印产生的方法，其特征在于，该第一工作流体与该第二工作流体为相同物质。

5．如权利要求4所述之无水印产生的方法，其特征在于，该第一、二工作流体分别呈现液、汽态。

6．如权利要求5所述之无水印产生的方法，其特征在于，该第一、二工作流体为异丙醇。

7．如权利要求5所述之无水印产生的方法，其特征在于，该第一、二工作流体为丙酮。

8．如权利要求5所述之无水印产生的方法，其特征在于，该第一、二工作流体为乙醇。

9．如权利要求1、2、3、4、5、6、7或8所述之无水印产生的方法，其特征在于，该被清洗物件为晶圆。

10．一种无水印产生的装置，适用于经水分冲洗后之被清洗物件，该无水印产生的装置包括：

一容器，容纳有第一工作流体，用以浸入附着有该水分的该被清洗物件，该第一工作流体是与附着于该被清洗物件之该水分互溶，并且该第一工作流体之挥发性大于该水分之挥发性：及

一干燥装置，用以将取出于该第一工作流体之该被清洗物件进行干燥处理。

11．如权利要求10所述之无水印产生的装置，其特征在于，该干燥装置内部容纳有第二工作流体，该第二工作流体是用以对该被清洗物件进行干燥处理。

12．如权利要求11所述之无水印产生的装置，其特征在于，该第一工作流体与该第二工作流体为相同物质。

13．如权利要求12所述之无水印产生的装置，其特征在于，该第一、二工作流体分别呈现液、汽态。

14．如权利要求13所述之无水印产生的装置，其特征在于，该第一、二工作流体为异丙醇。

15．如权利要求13所述之无水印产生的装置，其特征在于，该第一、二工作流体为丙酮。

16．如权利要求13所述之无水印产生的装置，其特征在于，该第一、二工作流体为乙醇。

17．如权利要求10、11、12、13、14、15或16所述之无水印产生的装置，其特征在于，该被清洗物件为晶圆。