[发明专利]利用电子束的“结构化”能量传输方法

权利要求书

1.一种利用电子束的“结构化”能量传输方法，利用可聚焦且可作二维空间X，Y方向偏转的电子束，将能量传输到物体上，其特征在于：

该物体在一光罩下方移动，与光罩不接触，该电子束沿物体运动方向X以高频振动，并大致垂直于物体运动方向在该光罩中的凹洞范围偏转导进，该电子束垂直于物体运动方向沿光罩范围偏转导进的速度比起物体运动速度高得多。

2.根据权利要求1所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

设定一种三角函数将电子束沿振动方向X偏转。

3.根据权利要求1所述的利用电子束的“结构化”的能量传输方法，其特征在于：

该周期性振动偏转函数的频率－－沿物体运动方向X的电子束振动偏转速度－－设定得很高，使得物体上累积的能量符合于所调定的均匀度要求。

4.根据权利要求1～3所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

该周期新振动偏转函数的振幅设定成比光罩中凹洞沿振动方向的尺寸大。

5.根据权利要求1～4所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

在一定电子束流的情形下，通过改变周期性振动偏转函数的振幅来配合所要传输的能量密度。

6.根据权利要求1～5所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

电子束垂直于其振动方向作偏转的偏转速度在光罩的凹洞的整个范围中保持恒定。

7.根据权利要求1-6所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

该电子束沿垂直于物体运动方向X、方向Y偏转的速度设定得很高，使得在能量传输期间中，传输到所要照射的“结构”元件上的能量几乎没有明显的热能从该吸能的材料空间跑出。

8.根据权利要求1～7所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

该电子束依位置而异以不同的速度偏转，使得将要传输到物体上的能量密度依位置改变。

9.根据权利要求1～8所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

冷却该光罩。

10.根据权利要求1～9所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

该所要处理的物体以恒定速度在光罩下移动。

11.根据权利要求1～10所述的利用电子束的“结构化”能量传输方法，其特征在于：

依据垂直于振动方向X的光束偏转速度及依物体运动速度的量，将光罩向Y方向扭转，使得可以消除电子束经过光罩的渡越时间效应对于物体上被照射的表面元件的坐标位置的微小偏差影响。