[发明专利]混合的有机－无机平面光波导器件

权利要求书

1.在基体上形成的平面光波导，包括：

具有第一折射率的波导芯层，以及

与所述芯层接触形成的包层，所述包层具有小于所述第一折射率的第二折射率，

所述芯层和所述包层中的至少一者是无机-有机混合材料，该混合材料包含广延的基体，该基体含有硅原子和氧原子，其中至少部分硅原子直接与取代的或未取代的烃部分键合。

2.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述第一折射率为1.4-1.55，所述第二折射率为1.3-1.6。

3.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料在1200-1600纳米的波长范围内具有高的透射率，且吸收率小于0.2AU。

4.如权利要求3所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料在1525-1570纳米的波长范围内具有高的透射率，且吸收率小于0.05AU。

5.如权利要求3所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料在1270-1330纳米的波长范围内具有高的透射率，且吸收率小于0.05AU。

6.如权利要求4所述的平面光波导，其特征在于在1525-1570纳米范围内的吸收率小于0.4分贝/厘米。

7.如权利要求5所述的平面光波导，其特征在于在1270-1330纳米范围内的吸收率小于0.2分贝/厘米。

8.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于当所述无机-有机混合材料从非固体变为固体时，其质量损耗小于初始质量的6％。

9.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于当所述无机-有机混合材料从非固体变为固体时，其质量损耗不大于初始质量的4％。

10.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料在固化成固体之前，其质量损耗约为初始质量的50％。

11.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料是氘化的。

12.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述第二包层是在所述芯层上形成的，且所述波导包括在所述基体和所述芯层之间形成的另外一层包层。

13.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料包括甲基-硅氧烷基团、苯基硅氧烷基团和氟。

14.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料是通过固化前体得到的，所述前体包括聚二甲基硅氧烷、甲基三烷氧基硅烷和苯基三烷氧基硅烷。

15.如权利要求1所述的平面光波导，其特征在于所述无机-有机混合材料是通过固化前体得到的，所述前体包括PDMS、MTES。PTES和PTFS。

16.在基体上形成的平面光学器件，包括：

一列导引光辐射的波导芯层，以及

与所述波导芯层列接触形成的包层，其作用是将所述光辐射限制于所述波导芯层列，

所述波导芯层列和所述包层中的至少一者是无机-有机混合材料，该混合材料包含广延的基体，该基体含有硅原子和氧原子，其中至少部分硅原子直接与取代的或未取代的烃部分键合。

17.如权利要求16所述的光学器件，其特征在于所述器件是分路器。

18.如权利要求16所述的光学器件，其特征在于所述器件是耦合器。

19.如权利要求16所述的光学器件，其特征在于所述器件是波分多路复用器。

20.如权利要求16所述的光学器件，其特征在于所述芯层和所述包层中的一者包含水解的和聚合的硅烷，所述硅烷选自四烷氧基硅烷、烷基三烷氧基硅烷和芳基三烷氧基硅烷。

21.如权利要求20所述的光学器件，其特征在于水解的和聚合的硅烷的含量至少为50％。

22.如权利要求16所述的光学器件，其特征在于所述烃部分是一种改性剂的水解产物，所述改性剂选自惰性网络改性剂、活性网络改性剂、有机成网改性剂、活性聚合物改性剂和活性可聚合的改性剂。

23.如权利要求16所述的光学器件，其特征在于所述烃部分是未取代或取代的烷基或芳基部分。