[发明专利]具有内嵌中间件的小型泵

说明书

本发明涉及一种小型泵及其制造方法。这种小型泵包括至少一个基板、至少一个顶板和至少一个中间板，后者夹在另两个板之间，其构成材料可以被加工形成一个泵室；该小型泵还包括至少一个液流入口控制机构，及至少一个所述液流的出口控制机构，所述入口控制机构将所述泵室与小型泵的至少一个入口连接起来，所述出口控制机构将所述泵室与小型泵的至少一个出口连接起来；所述泵室包括一个在所述中间板中加工形成的活动壁，当液流被吸入或排出所述泵室时，该活动壁可以沿着两个相反方向移动；所述顶板上设置有至少一个连接一个空腔与所述活动壁的至少一部分的孔，在所述顶板的自由表面上固定有若干驱动装置，用来移动所述活动壁，以使所述泵室的容积发生周期性变化。

在现有技术的某些称为“按压型(PIN-TYPE)”的小型泵中，所述驱动装置的部件之一由一个中间件构成，后者用来使压电装置与泵室的所述活动壁相接触。这种中间件的微加工制造及其在小型泵装置中的安装需要相当大的精确度，才能使小型泵可靠而规则地工作。

这样的小型泵例如在WESTONBRIDGE公司的国际申请W0 9518307中有描述。图1示出了在该申请文件中所描述的小型泵的一种实施例。该小型泵包括一个基板82、一个中间板86、一个顶板88、若干驱动部件87和一个中间件84，所述驱动部件87用来与压电装置80相配合，所述中间件84为图钉形，以其平坦的头部与所述驱动装置87相连。

可以看出，这种小型泵的良好运转所必须的这样一个中间件84的使用，在小型泵的制造过程中带来了相当大的复杂性。

本发明的目的就是提供一种小型泵，其所具有的中间件的制造被简化了，同时仍可使小型泵可靠而稳定地运转。

按照本发明，该目的是这样达到的：所述驱动装置由一个驱动板构成，该驱动板由这样的材料构成，这种材料可以被加工形成一个活动区和所述空腔，从所述顶板加工来的一个中间件固定在该驱动板上，以建立与所述活动壁的接触。

可以看出，从所述顶板来加工所述中间件避免了所述中间件的制造与小型泵的其他任何部件都毫无关联，因此，如下文将要说明的，该中间件完美地结合进了所述小型泵中。

通过对下面以例子给出的两种实施例的说明，可以更好地理解本发明，并看出本发明的其他特征和优点。

说明参照附图进行，附图中：

——图1，如前所述，示出的是现有技术中的一种小型泵的剖面图；

——图2简要地局部示出了本发明的小型泵的第一种实施例的剖面图；

——图3类似于图2，示出了本发明的小型泵的第二种实施例；

——图4A到图4D示出了按照一种优选制造方法制造一个小型泵的某些步骤；

——图5A到图5F示出了本发明的一种小型泵的制造方法的各个步骤。

示于图2和图3中的小型泵的两种优选实施方式的简要局部剖面图仅示出了小型泵的中央部分，就是相当于图1中的区域A所限定的部分。

参照图2，该小型泵的所述中央部分包括一个基板1和一个顶板2，二者最好是玻璃的，比如派热克斯(Pyrex，硼硅酸硬质玻璃)。在这两个板1和2之间夹有中间板3，后者与基板1一同限定了泵室4。所述中间板3的中央部分构成一个活动壁5，可允许泵室4的容积在安装在小型泵上面的一个压电装置6的作用下而发生变化。

一个驱动板7嵌入并固定在所述压电装置6和所述顶板2之间，在所述驱动板7和所述顶板2之间形成一个空腔8。

所述顶板2的一个自由表面9最好以阳极焊接(soudage anodique)固定在所述驱动板7的一部分上，在所述空腔8的两侧。在与所述空腔8相对的那侧，所述驱动板7的自由表面10与所述压电装置在空腔8的中央部分的外延位置处相连。在所述压电装置6和空腔8的所述中央部分之间，所述驱动板7的中央部分构成一个活动区11。

所述空腔8在顶板2处延伸出一个连接孔12，该孔为环形，环绕着一个中间件13，后者与所述顶板2是从同一母件加工来的。

所述空腔8也是环形的，环绕着活动区11的固定在中间件13上的那一部分。在所述连接孔12的周围，所述顶板2与活动壁5简单接触而不固定(区域16构成阻挡部)，以制止活动壁5的运动超过该接触区。这里最好借助于一个覆盖区域16(该区域构成顶板2的阻挡部)的绝缘层而避免固定，该绝缘层例如是硅的氧化物。

还可以看到，在所述顶板2和所述中间板3之间有一个环形中间腔14，该中间腔是去除所述中间板的部分材料而形成的，位于所述空腔8的一部分在顶板2的另一侧的延伸位置处，并设置在所述连接孔12的外侧。