[发明专利]用于一部分与另一部分紧凑连接的组合式电和光边缘接触元件、其应用以及制造这种互连结构的方法

权利要求书

1.一种组合式的电和光边缘接触元件，用于一部分与另一部分的紧凑连接，这些部分包括电导体和/或光波导，该边缘接触元件包括一个弹性的透光材料层，它敷设在一个部分的第一表面上，为了互连，此第一表面要被设置在另一部分的相应第一表面上，此透光材料层被设置成覆盖一个光波导的一个端表面，该光波导终止于此表面，其中此层承载了一个暴露的导电区域，此区域连接至此层所处那一部分上的一个电导体。

2.根据权利要求1的接触元件，其特征在于：暴露的导电区域设置成与一个连接器单元上的一个导电区域电接触，该连接器单元包括多个互连的导电区域。

3.根据权利要求2的接触元件，其特征在于还包括定位装置，用于将一个连接器单元定位在一个位置上以便与暴露的导电区域接触。

4.根据权利要求1-3中任一权利要求的接触元件，其特征在于：所述层还覆盖垂直于第一表面的第二表面，此层上的导电区域设置在这个第二表面之上并且大致与之平行，当所述部分与连接器单元连接在一起时，所述层承载导电区域的部分提供了与一个连接器单元的弹性滑动电接触。

5.根据权利要求1-4中任一权利要求的接触元件，其特征在于：所述层在第一和第二表面之间形成的角部或边缘上从第一表面不间断地或邻接地延续至第二表面。

6.根据权利要求1-5中任一权利要求的接触元件，其特征在于：对于每对电导体和光波导有一个分立的或单独的弹性层，该弹性层延伸至第一表面。

7.一种采用根据权利要求1-6中任一项所述的接触元件的连接器单元，其特征在于还包括在此单元的一个表面上的一个导电图形，当此单元被置于接触元件的一个位置上时，这个导电图形适于与接触元件的暴露的导电区域电接触。

8.根据权利要求7的连接器单元，其特征在于还包括定位装置，用于将此单元定位在一个位置以便与暴露的导电区域接触。

9.根据权利要求8的连接器单元，其特征在于：定位装置包括位于所述部分和连接器单元中的任一个或两者的表面中的V形槽。

10.根据权利要求9的连接器单元，其特征在于：定位装置包括位于所述部分和连接器单元中的任一个或两者的表面中的V形槽以及与这些V形槽配合的导引销。

11.根据权利要求8的连接器单元，其特征在于：定位装置包括位于所述部分和连接器单元中的任一个或两者的表面上的定位凸起，该凸起分别与连接器单元和所述部分的边缘区域或角部区域配合。

12.一种制造互连结构的方法，所述互连结构用于将设置在两个不同部分尤其是两个不同的半导体衬底上的电导体和光波导互连，其特征在于包括以下步骤：

向两个不同部分之边缘上的待实现互连的区域敷设弹性材料，以便弹性材料覆盖这两个部分的光波导的互连端，和

将电导体设置于弹性材料的顶部。