[发明专利]光投影系统中的薄膜致动镜象阵列及其制造方法

权利要求书

1.一种光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，该光投影系统由第一信号和第二信号驱动，所述薄膜致动镜象阵列包括：

一基底，它具有电引线和连接端子，用于从外部接收第一信号并传送第一信号；

一致动器，包括：支撑层，形成于所述基底上；底电极，用于接收第一信号，所述底电极形成于所述支撑层上；对应于所述底电极的顶电极，用于接收第二信号并在所述顶电极和所述底电极之间产生电场；和有源层，形成于所述顶电极和所述底电极之间，并被电场变形；

公共线，用于将第二信号提供到所述顶电极，所述公共线形成于所述致动器的一部分上，并被连接到所述顶电极；和

反射元件，用于反射光，所述反射元件形成于所述顶电极上。

2.如权利要求1所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述底电极，所述有源层，和所述顶电极分别为矩形。

3.如权利要求2所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述底电极形成于所述支撑层的中央部分上，所述有源层小于所述底电极，所述顶电极小于所述有源层。

4.如权利要求1所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述致动器还包括：通孔接点，用于将第一信号从所述连接端子传送到所述底电极，所述通孔接点形成于从所述支撑层到所述连接端子的通孔中；连接装置，用于将所述通孔接点连接到所述底电极，所述连接装置从所述通孔接点到所述底电极。

5.如权利要求4所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述通孔接点和所述连接装置是由导电金属组成的。

6.如权利要求5所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述通孔接点和所述连接装置是由铂，钽，或铂-钽组成的。

7.如权利要求1所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述支撑层是由刚性材料组成，所述底电极是由导电金属组成，所述有源层是由压电材料或电致伸缩材料组成，所述顶电极是由导电金属组成。

8.如权利要求1所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述公共线是由导电金属组成的。

9.如权利要求8所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述公共线是由铂，钽，铂-钽，铝，或银组成，厚度在0.5μm和2.0μm之间。

10.如权利要求1所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述顶电极还包括接线柱，用于支撑所述反射装置，所述接线柱形成于所述顶电极的一部分和所述反射装置之间，所述反射装置为矩形板形。

11.如权利要求1所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述反射装置由反射材料组成。

12.一种光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，该光投影系统由第一信号和第二信号驱动，所述薄膜致动镜象阵列包括：

基底，它具有电引线和连接端子，用于从外部接收第一信号并传送第一信号；

致动器，包括：第一驱动部件，它具有：形成于所述基底的第一部分上的第一支撑层；第一底电极，用于接收第一信号，所述第一底电极形成于所述第一支撑层上；对应于所述第一底电极的第一顶电极，用于接收第二信号并在所述第一顶电极和所述第一底电极间产生第一电场；和第一有源层，形成于所述第一顶电极和所述第一底电极之间，并被第一电场变形；和第二驱动部件，它具有：第二支撑层，形成于所述基底的第二部分上并连接到所述第一支撑层；第二底电极，用于接收第一信号，所述第二底电极形成于所述第二支撑层上；对应于所述第二底电极的第二顶电极，用于接收第二信号并在所述第二顶电极和所述第二底电极之间产生第二电场；第二有源层，形成于所述第二顶电极和所述第二底电极之间并被第二电场变形；

公共线，用于将第二信号提供到所述第一顶电极和所述第二顶电极，所述公共线形成于所述致动器的一部分上，并被连接到所述第一顶电极和所述第二顶电极；和

反射元件，用于反射光，所述反射元件形成于所述致动器上。

13.如权利要求12所述的光投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中所述第一底电极和所述第二底电极分别为矩形，所述第一有源层和所述第二有源层分别为矩形，所述第一顶电极和所述第二顶电极分别为矩形。