[发明专利]光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列及其制造方法

权利要求书

1.一种光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其由一第一个信号和一第二个信号驱动，所述薄膜致动镜象阵列包括：

一个基片，该基片具有接收从外界来的该第一个信号，和传送该第一个信号的一个电气线路和一个连接终端；

一个致动器，该致动器包括具有下列元件的第一个致动部分：i)用于接收该第一个信号的第一个底部电极，所述第一个底部电极在所述基片的第一部分上形成；ii)与所述第一个底部电极相应，用于接收该第二个信号和在所述第一个顶部电极和所述第一个底部电极之间，产生一个电场的一第一个顶部电极；和iii)在所述第一个顶部电极和所述第一个底部电极之间形成的、并由该电场的作用产生变形的一第一个有源层；该致动器还包括具有下列元件的第二个致动部分：a)用于接收该第二个信号的一第二个底部电极，所述第二个底部电极在所述基片的第二部分之上形成；b)与所述第二个底部电极相应，用于接收该第一个信号的第二个顶部电极，所述第二个顶部电极在所述第二个顶部电极和所述第二个底部电极之间产生一个电场；和c)在所述第二个顶部电极和所述第二个底部电极之间形成的，并由该电场作用产生变形的第二个有源层，所述第二个有源层与所述第一个有源层作成一个整体；所述第二个致动部分在与所述第一个致动部分的方向相反的方向上被驱动运动；该致动器还包括：用于将所述第一个底部电极与所述第二个顶部电极连接的一第一个连接装置，和用于将所述第一个顶部电极与所述第二个底部电极连接的一第二个连接装置；和

用于反射光线的一个反射装置，所述反射装置形成在所述第二个致动部分上。

2.如权利要求1所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个底部电极和所述第二个底部电极由一种导电金属制成，所述第一个有源层和所述第二个有源层由一种压电材料或一种电致伸缩材料制成，和所述第一个顶部电极与所述第二个顶部电极由一种导电金属制成。

3.如权利要求2所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个底部电极和所述第二个底部电极由铂、钽或铂-钽合金制成；所述第一个有源层和所述第二个有源层由Pb(Zr，Ti)O₃，(Pb，La)(Zr，Ti)O₃，或Pb(Mn，Nb)O₃制成；和所述第一个顶部电极与所述第二个顶部电极由铝，铂或银制成。

4.如权利要求1所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个有源层和所述第二个有源层由ZnO制成。

5.如权利要求1所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第二个致动部分还包括一个用于支承所述反射装置的支杆，所述支杆在所述第二个顶部电极的一部分上形成，和所述反射装置由一种可反射光的金属制成。

6.如权利要求5所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述镜象阵列由铝、铂或银制成。

7.如权利要求1所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个底部电极为L-字形形状，而所述第二个底部电极为颠倒的L-字形形状，因此，所述第一个底部电极和所述第二个底部电极一起，形成一个U-字形形状。

8.如权利要求1所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个有源层和所述第二个有源层连接，形成一个U-字形形状。

9.如权利要求1所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个顶部电极为L-字形形状，而所述第二个顶部电极为比所述第一个顶部电极小的颠倒的L-字形形状。

10.如权利要求9所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个连接装置为从所述第二个顶部电极，通过所述第一个有源层，至所述第一个底部电极这样形成的第一个通路触点；而所述的第二个连接装置为从所述第一个顶部电极，通过所述的第二个有源层，至所述的第二个底部电极这样形成的第一个通路触点。

11.如权利要求10所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个通路触点和所述第二个通路触点由一种导电的金属制成。

12.如权利要求11所述的光学投影系统中的薄膜致动镜象阵列，其中，所述第一个通路触点和所述第二个通路触点由钨或钛制成。