[发明专利]半导体试验装置的比较器

说明书

本发明涉及半导体实验装置中在试设备(DUT)的差动信号用的比较器。

在DUT差动输出信号的检查项目中，第1是要检查每个输出端子的输出信号是否正常动作，也就是单项试验功能检查项目；第2是要检查在差动状态下输出信号是否正常动作，也就是差动试验功能检查项目。本发明的侧重点是放在判断差动信号是否正常动作方面。

近年以来，使用小振幅信号的DUT在逐渐增加，在平衡传输驱动接口的条件下使用的居多。因此，在平衡传输的条件下，就要求进行更为详尽的是否良好的测定。

图6所示，是现有技术的单通道比较器部90的结构示例，用来接受DUT100的差动信号101，102，分别在比较器71，72中对来自DUT的、平衡传输的差动输出信号进行判断比较。

差动输出信号的H/L判断，是通过对每个比较器的他端施加规定比较电压VO81，VO82、作逻辑比较的电路进行的。其中的比较电压VO81、VO82是用来使比较器的临界电平任意可变的基准电压信号；选通信号61、62是用来确定比较器的选通时限用的选通信号。

如图5(a)所示第1例中的DUT的波形，因受噪声等的影响，产生同相波峰时，就会在其中的一个比较器的输出端检测出异常信号。

在遇到这样的DUT输出波形时，在单项试验功能检查中虽然会判为次品，但在差动输出条件下，即使有同相噪声，实际上有时也会是及格品。遇到这样的情况，就必须要做是否是合格品的检验。为此，由于是差动试验功能，所以必须要做更为详尽的测定。

然而，在现有的测定中，这样的差动试验功能的检查很困难，有时也会遇到判定DUT为次品的时候。

如图5(b)所示第1例中的DUT的波形，当遇到两个DUT输出信号有比较大的迁移时限时间差的时候；由于在两个比较器产生的比较结果的输出时限T91、

T92之间出现时间差，与本来所求的迁移T90有错位，以至不能够测定正确变化点的时限。所以有时会遇到不能令人满意的实验结果的时候。

如上所述，为了构成在每个比较器中都能对差动信号101、102进行逻辑比较的电路，当遇到DUT的输出振幅小、噪声多，或迁移时限有位移时，由于受到同相信号的影响，所以使判定结果与DUT原有的差动输出信号的H/L电平或时限之间有差异，不能令人满意。

因此，本发明想要解决的问题是：针对DUT差动输出信号的动作试验，设置差动接受器式的比较器，实现不受同相信号影响的差动信号用的比较器的目的。

图1所示是采用本发明的第1解决装置。

为了解决上述问题，在用作本发明结构的结构装置中，设置补偿加法器30，用来接受来自DUT的差动信号101、102，输出经过施加规定补偿电压的输出信号111、112，并且设置比较器71，用来接受来自加法器30的两个输出信号，将两个信号进行比较，然后输出。

采用这样的办法，在用作半导体试验装置中，对来自DUT的两个差动信号101、102进行差动动作试验，实现了不受同相信号影响的差动信号用的比较器。

图4所示是本发明的第2解决装置。

为了解决上述问题，在用作本发明结构的结构装置中，设置有：转换开关sw51，用来接受来自DUT的一个差动信号101，并对该差动信号101的电路接地电位进行切换；转换开关sw52，用来接受来自DUT的另一个差动信号102，并对该差动信号102的电路接地电位进行切换；补偿加法器30，用来接受来自转换开关sw51及转换开关sw52的信号，输出经过施加规定补偿电压的输出信号111、112；以及比较器71，用来接受来自加法器30的两个输出信号，将两个信号进行比较，然后输出。

采用这样的办法，实现不受同相信号影响的差动信号用的比较器，以及通过转换开关对两个差动信号101、102分别进行单项试验的功能。

补偿加法器30是用来接受来自DUT的差动信号101、102，通过比较电压VO83，在两个信号之间施加补偿电压的加法器。

另外，在上述实施例中，虽然是采用转换开关sw51、sw52对电路的接地电位进行切换的办法，也可以是不对接地电位加以限制的装置，而是改用切换固定电位的办法。

图3所示是本发明的第3解决装置。

为了解决上述课题，在用作本发明结构的结构装置中，设置了差动放大器76，用来接受来自DUT的差动信号101、102，进行放大处理，然后输出；并且设置比较器71；用来接受来自差动放大器76的信号，将其输向比较器71的一端，在另一端上施加临界比较电压VO83，将两个信号进行比较，然后输出。

图7所示是本发明的第4解决装置。