[发明专利]玻璃涂层

说明书

发明背景

本发明涉及采用氧化铟进行热解涂镀的方法，还涉及使用该方法涂镀的玻璃。

玻璃上的氧化铟涂层，特别是掺杂的氧化铟涂层(如掺杂有氟或锡的氧化铟涂层)是公知的可见光透射性较高且导电性优良的涂层。通过反应溅射法沉积的锡掺杂氧化铟涂层被广泛地用作可加热涂层，例如用于飞机挡风玻璃，另外，已提出采用掺杂的氧化铟涂层经抛光作为建筑玻璃上的低发射性(红外反射)涂层以控制热损失。

通过反应溅射法在玻璃上沉积掺杂锡的氧化铟涂层是公知技术，希望采用工业化应用方法在大气压下于热玻璃上沉积这种热解涂层。因而不仅需要避免在低压下操作，而且如果能以高速度沉积，则这种方法也可用于玻璃生产线上的热玻璃，从而涂镀过程可以连续操作而非间歇操作。

U．S．4，286，009涉及一种用作太阳热收集器的吸收表面的复合涂层。该复合涂层的两层均是金属氧化物，主要是锡、锑、铟和铁的氧化物。通过将氯化铟(InCl₃)和氯化锡(SnCl₄)的乙酸乙酯溶液喷射至650℃的热玻璃上而沉积掺杂氧化锡的氧化铟涂层。

EP 0 027，403B1涉及一种在热玻璃表面上沉积氧化锡或氧化铟的导电膜的方法，该方法包括使热表面与锡或铟化合物的蒸气接触；特别涉及使用气态的有机氟代化合物，将其加热，与催化剂接触，然后与铟或锡的氧化物的蒸气一起与玻璃接触以在形成的氧化铟或氧化锡涂层中引入氟掺杂剂。通常，涂镀过程优选在超过400℃的玻璃温度下进行，在具实例中，将包含二氯化二甲基锡((CH₃)₂SnCl₂)和二氯二氟甲烷(CCl₂F₂)的气态混合物施加至550℃的热玻璃上以在玻璃上沉积掺杂氟的氧化锡涂层。

EP 0 192，009A2涉及在热玻璃上形成氧化铟涂层的方法，特别涉及包括如下方法，其中当其排出浮动浴出口处时将氧化铟的前体施加至热的浮动玻璃条板上，例如在玻璃温度为600℃时。优选使用溶液形式的铟化合物，特别是其乙酰丙酮酸盐，同时已表明，当这些化合物以粉末形式使用时是不能令人满意的。已提出使用溶液形式或粉末形式的甲酸铟，In(HCOO)₃。

EP 0 489，621A1涉及在玻璃基质上形成氧化铝与另一种氧化物组合的涂层的方法，所说的另一种氧化物可为氧化锌、氧化锡、氧化钛或氧化铟。该涂层能在玻璃底材与低发射和／或导电覆盖层间形成中间涂层(一种抗虹彩涂层)。该涂层是通过将粉末形式的金属化合物在热玻璃表面上热解而形成的，其提出了使用粉末形式的乙酰基丙酮酸铟或甲酸铟作为氧化铟源。

EP 0 503，382A1涉及一种在玻璃基质上形成掺杂的氧化铟涂层的化学气相沉积方法。在所述方法中，铟源和氧化性气体的分开的层流暂时通过中间的惰性气体物液隔开，将上述层流与加热的底材(可为玻璃)一起通过化学反应室。铟源能吸附至被加热底材的表面，且惰性气体的中间体物流能控制氧化性气体通过后与吸附层作用而形成氧化铟的速度。可用作气相形式作为铟源的化合物的实例为三甲基铟和三甲基铟乙基乙醚配合物。

尽管人们试图在玻璃生产过程中通过在大气压下在热玻璃上的沉积来制备工业化掺杂的氧化铟涂层，但仍然未找到以此种方式如何进行氧化铟的工业化生产。

业已发现，对于这种工业上可接受的“在线”方法而言，其突出优点是使用了化学气相沉积法；其优点还在于，由于以供应的铟前体的数量为基准，可实现涂层的高收率。因而，预混蒸气可包含准备供给热玻璃的铟源和氧源。

按照本发明的一个方面，本发明提供了一种将氧化铟涂层涂镀在平板玻璃上的方法，该方法包括：使铟化合物与氧源的气态混合物射向热的玻璃表面，从而使铟化合物分解，在热玻璃表面上形成氧化铟涂层。

进而发现，二烷基铟化合物特别适于用作该方法中氧化铟的前体，以用于通过化学气相沉积法将氧化铟涂层涂镀至热玻璃上。

按照本发明的另一个方面，本发明提供了一种将氧化铟涂层涂镀至平板玻璃的方法，该方法包括：在氧源存在下，将气态的二烷基铟化合物射向热玻璃表面，从而使铟化合物分解，在热玻璃表面上形成氧化铟涂层。虽然不是必要的，但优选在射向热玻璃表面之前使二烷基铟化合物与氧源预混合。

当在射向玻璃表面之前使铟化合物与氧源预混合时，优选将混合物在层流条件下射向热玻璃表面。