[发明专利]压电式执行元件无效
申请号: | 97191934.8 | 申请日: | 1997-10-09 |
公开(公告)号: | CN1121725C | 公开(公告)日: | 2003-09-17 |
发明(设计)人: | 鲁道夫·海因茨;迪特尔·金茨勒;罗格·波金;克劳斯-彼得·施默尔;弗里德里希·伯金 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博施有限公司 |
主分类号: | H01L41/09 | 分类号: | H01L41/09 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘兴鹏 |
地址: | 联邦德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 执行 元件 | ||
【权利要求书】:
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