[发明专利]组合低温泵/吸气泵及其再生方法

权利要求书

1．一种泵，包括：

一个低温泵部分，它具有与低温泵腔相连的低温泵进口；

一个吸气泵部分，它具有连通吸气泵腔的吸气泵进口，所述吸气泵腔与所述低温泵腔隔离，所述吸气泵部分至少部分地环绕所述低温泵部分；和

一个连接装置，它将所述低温泵部分和所述吸气泵部分安装到要被抽吸的腔的单一口上，使得所述低温泵进口和所述吸气泵进口同时与所述口连通。

2．如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述吸气泵部分基本上完全环绕所述低温泵部分。

3．如权利要求2所述的泵，其特征在于，所述低温泵部分和所述吸气泵部分基本上呈圆柱形。

4．如权利要求3所述的泵，其特征在于，所述吸气泵部分环绕所述低温泵部分并基本上与之同轴。

5．如权利要求1所述的泵，还包括一个位于所述口和所述低温泵进口以及所述吸气泵进口之间的阀装置。

6．如权利要求5所述的泵，其特征在于，当关闭时，所述阀装置可操作地将所述低温泵进口和所述吸气泵进口与所述口隔离。

7．如权利要求6所述的泵，其特征在于，当所述口关闭时，所述阀装置不将所述低温泵进口与所述吸气泵进口隔离。

8．如权利要求8所述的泵，其特征在于，所述阀装置包括一个具有单一密封件的闸阀。

9．如权利要求6所述的泵，其特征在于，当所述口关闭时，所述阀装置将所述低温泵进口与所述吸气泵进口隔离。

10．如权利要求9所述的泵，其特征在于，所述阀装置包括一个具有双密封件的闸阀。

11．如权利要求2所述的泵，还包括一个隔热件，至少部分地位于所述吸气泵部分和所述低温泵部分之间。

12．如权利要求4所述的泵，还包括一个大致呈圆柱形的隔热件，它同轴地位于所述低温泵部分和所述吸气泵部分之间。

13．如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述低温泵部分包括一个15°K阵列和一个80°K阵列。

14．如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述吸气泵部分包括至少一个支撑条带，该条带支撑有吸气材料，并适于安装到所述吸气泵部分内。

15．如权利要求14所述的泵，其特征在于，所述支撑条带是波纹状的并成型为至少有一部分为环形。

16．如权利要求15所述的泵，其特征在于，所述支撑条带为了再生而被外部电阻加热器加热。

17．如权利要求1所述的泵，其特征在于，所述吸气泵部分包括多个吸气板。

18．如权利要求17所述的泵，其特征在于，所述吸气板为了再生而被辐射热源灯加热。

19．如权利要求18所述的泵，还包括一个反射器，以从所述灯向所述吸气板反射一部分辐射热。

20．如权利要求17所述的泵，其特征在于，所述吸气板为了再生而被加热器支撑。

21．一种用于对组合低温泵和吸气泵进行再生处理的方法，包括：

将低温腔中的低温泵活性元素与连成一体的吸气泵的吸气腔活性元素隔离；

对所述低温泵和所述吸气泵中至少之一的活性元素进行再生处理；

22．如权利要求21所述的再生方法，其特征在于，所述隔离的步骤包括以下步骤，即将所述低温泵的活性元素与所述吸气泵的活性元素进行热隔离。

23．如权利要求21所述的再生方法，其特征在于，所述隔离的步骤包括以下步骤，即用一个阀装置对低温泵的活性元素与所述吸气泵的活性元素进行物理隔离，以防止低温泵的活性元素与所述吸气泵的活性元素之间形成气体连通。

24．如权利要求21所述的再生方法，其特征在于，所述隔离的步骤包括以下步骤，即从所述吸气泵到所述低温泵形成惰性气体气流，以基本上防止在所述低温泵的活性元素再生时从所述低温泵到所述吸气泵形成气流。

25．如权利要求21所述的再生方法，其特征在于，所述再生的步骤包括以下步骤，即加热所述吸气泵的所述活性元素以对所述吸气泵的吸气材料进行再生处理。