[发明专利]液滴沉积装置

权利要求书

1．一种液滴沉积装置，其包括：

一个包括压电材料的底板，该底板形成有多条平行的、顶端敞开的槽，它们在垂直于槽的长度方向的排列方向上相互间隔开，各槽至少有一部分是由相互面对的侧壁和在上述侧壁之间延伸的底表面构成的；

上述侧壁至少包括上述压电材料和用于给上述压电材料施加电场，从而使上述侧壁产生横向位移的电极；

一个面向上述槽的上述底表面且粘接在上述侧壁上以从其顶部封闭上述槽的顶板；

该槽被供以液滴液体，且于一喷嘴联通，以从中喷射出液滴。各槽均有在平行于槽轴线的一侧敞开的用以与液滴液体供给装置联通的一个部分，和在平行于槽轴线的所有侧面均封闭的另一个部分；    其特点在于：

使包括上述压电材料的上述各槽的上述一个部分的相应侧壁丧失功能，即各槽的上述一个部分的上述侧壁不发生横向位移。

2．根据权利要求1所述的液滴沉积装置，其中，在各槽的一个部分中，在压电材料和提供于上述壁的相对侧面上的至少一个电极之间置入了一层介电常数较压电材料的为低的材料，以使压电材料丧失功能。

3．根据权利要求1所述的液滴沉积装置，其中，提供于各槽的上述一个部分的电极同提供于各槽的上述另一个部分的电极相比，沿相应侧壁的高度延伸的比例较小，从而使在上述一个部分中对压电材料的驱动无效，因此使其丧失功能。

4．一种液滴沉积装置，其包括

一个底板，它具有一层在垂直于上述层的方向上极化的压电材料，且形成有多条平行的、顶部敞开、在垂直于槽的长度方向的排列方向上相互间隔的槽，各槽均至少一部分由相互面对的侧壁和在上述侧壁之间延伸的底表面构成，至少上述侧壁包括上述压电材料；

一个面向上述槽的上述底表面且粘接在上述侧壁上以在其顶部封闭上述槽的顶板；

该槽被供以液滴液体且与喷嘴联通，以从其中喷射出液滴；

各槽均有在平行于槽轴线的一侧敞开、用以与液滴液体供给装置联通的一个部分，和在平行于槽轴线的所有侧面均封闭的另一个部分；

于上述侧壁的相对的侧面上提供有电极，从而形成剪切模式致动装置，以使液滴从与上述致动装置相联的槽中喷出，各电极大体沿槽的长度方向延伸；其特征在于，

在上述槽的上述一个部分中，于上述介电材料和提供于上述侧壁的相对侧面上的至少一个上述电极之间设置了一层介电常数较压电材料的为低的材料。

5．根据权利要求4所述的液滴沉积装置，其中上述一个部分和另一个部分各自至少一部分是由有共平面的顶表面且高度大体恒定的侧壁构成，因此上述一个部分和另一个部分相应侧壁的高度大体相等。

6．根据权利要求4或5所述的液滴沉积装置，其中对于各槽，喷嘴靠近槽的上述另一个部分。

7．根据权利要求4或6任一项所述的液滴沉积装置，其中对于各槽，上述一个部分和另一个部分是连续的。

8．根据权利要求4至7任一项所述的液滴沉积装置，且其中在上述另一个部分中，电极提供于相应槽壁的压电材料的表面上。

9．根据权利要求8所述的液滴沉积装置，且其中提供于各槽的至少上述一个部分的上述侧壁的相对侧面上的电极是位于各槽侧壁的顶端，远离上述底表面的。

10．根据权利要求4至9任一项所述的液滴沉积装置，且其中上述各槽包括一其槽壁高度低于上述一个部分和另一个部分的槽壁的延续部分，电极提供于上述各槽的上述延续部分的相互面对的槽壁和底面上，有一层介电常数较压电材料的为低的材料置于上述电极和各槽的上述相互面对的侧壁和底面之间。

11．如制造权利要求4所述的液滴沉积装置的方法，其包括步骤：

(a)在包含一层压电材料的底板上制出多条平行槽；

(b)在上述各槽的一第一部分的至少一个相互面对的侧壁上蒸镀一层材料，该材料具有较压电材料的为低的介电常数，上述各槽的一第二部分的相互面对的侧壁保持没有上述材料；

(c)在上述槽的上述第一和第二部分的相互面对的侧壁上蒸镀电极材料。